[发明专利]基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备

权利要求书

1.一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，包括主控板、超声波厚度检测组件、智能激光发射器、一驱动机构、三个第一反射镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积形成复合材料的基片；

所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述三个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述智能激光发射器与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述智能激光发射器连接以驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；

所述主控板与所述智能激光发射器、所述三个驱动机构以及所述超声波厚度检测组件分别通信连接，所述超声波厚度检测组件将检测到的厚度分布信息上传给所述主控板，所述主控板根据所述厚度分布信息控制所述智能激光发射器的发射功率，并在完成对一个基片的沉积操作后，控制所述驱动机构驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜。

2.根据权利要求1所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，所述基片的上表面设置有静电吸附吸附层，以增强复合材料的沉积效率。

3.根据权利要求2所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，所述基片上与所述第一固定平台相对的一面贴有掩模。

4.根据权利要求3所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，所述掩模上设置有多个呈矩阵分布的沉积孔。

5.根据权利要求4所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，所述第一固定平台内部设置有加热组件，所述加热组件包括多个呈矩形阵列分布的加热元件，该多个加热元件分别与该多个沉积孔相对，所述主控板用于根据所述厚度分布信息控制对应的加热组件的各个加热元件以对应的功率进行加热，其中，复合材料沉积的平均厚度大的基片对应的加热元件的加热功率大于复合材料沉积的平均厚度小的基片。

6.根据权利要求1所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，所述真空室的壁上设置有三个通孔，所述通光部包括覆盖在所述三个通孔处的三个石英玻璃。

7.根据权利要求6所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，还包括用于提供惰性气体的储气结构以及用于抽出惰性气体的真空泵；所述真空室的侧壁上开设进气孔以及出气孔，所述储气结构通过所述进气孔与所述真空室连通，所述真空泵通过所述出气孔与所述真空室连通。

8.根据权利要求1所述的基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，所述超声波厚度检测组件包括超声波发射探头以及超声波接收探头，所述超声波发射探头以及超声波接收探头分别与所述主控板电连接。