[发明专利]电子级二氧化碳的制备工艺及装置在审
申请号: | 201811186561.X | 申请日: | 2018-10-11 |
公开(公告)号: | CN109163504A | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 雷海平;吕其明;张建长 | 申请(专利权)人: | 欧中电子材料(重庆)有限公司 |
主分类号: | F25J3/02 | 分类号: | F25J3/02;C01B32/50 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 肖丽 |
地址: | 401220 重庆市长*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明属于气体纯化技术领域,涉及电子级二氧化碳的制备工艺及装置。该制备工艺包括:从原料储罐出来的液体二氧化碳原料经换热单元换热后进入汽化单元中,将液体二氧化碳汽化为二氧化碳气体;出汽化单元的二氧化碳气体进入过滤和干燥单元中进行过滤和干燥处理;出干燥单元的二氧化碳气体经加压后进入换热单元中进行热交换,将二氧化碳气体液化,而后进入中间贮罐;出中间贮罐的液化二氧化碳依次经过预冷单元和再沸器进行热交换之后进入精馏塔内,从精馏塔内部填料层回流的液体二氧化碳经过再沸器获得电子级二氧化碳,被收集于精馏塔塔釜,而后被送至预冷单元换热后进入至成品储罐中。工艺简单,易于实施,可节省能耗,降低运行成本和投资费用。 | ||
搜索关键词: | 二氧化碳气体 液体二氧化碳 电子级 二氧化碳 热交换 制备工艺及装置 干燥单元 换热单元 汽化单元 中间贮罐 精馏塔 再沸器 换热 预冷 过滤 气体纯化技术 液化二氧化碳 精馏塔塔釜 成品储罐 干燥处理 原料储罐 运行成本 制备工艺 填料层 液化 加压 能耗 投资 | ||
【主权项】:
1.一种电子级二氧化碳的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:从原料储罐出来的液体二氧化碳原料经换热单元换热后进入汽化单元中,将液体二氧化碳汽化为二氧化碳气体;出汽化单元的二氧化碳气体进入过滤单元和干燥单元中进行过滤和干燥处理;出干燥单元的二氧化碳气体经加压后进入换热单元中进行热交换,将二氧化碳气体液化,而后进入中间贮罐;出中间贮罐的液化二氧化碳依次经过预冷单元和再沸器进行热交换之后进入精馏塔内,从精馏塔内部填料层回流的液体二氧化碳经过再沸器使轻组分蒸发,获得的电子级二氧化碳收集于精馏塔塔釜,然后电子级二氧化碳被送至预冷单元换热后进入至电子级二氧化碳成品储罐中。
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