[发明专利]一种LTCC基板共烧阻焊层制作方法在审
申请号: | 201811185254.X | 申请日: | 2018-10-11 |
公开(公告)号: | CN109524310A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 王伟;沐方清;孙轼;项玮;董兆文 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 王丽丽;金凯 |
地址: | 230088 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及一种LTCC基板共烧阻焊层制作方法,包括:S1:制作阻焊浆料:将生瓷片分割为尺寸较小的片状放入研磨体中;倒入无水乙醇,使用搅拌棒进行搅拌,使生瓷片充分溶于无水乙醇;待研磨体内的液体变成粘稠状时,将研磨体置于抽风柜内,等待无水乙醇挥发干净后,加入有机载体进行研磨,制成阻焊浆料;S2:制作阻焊层印刷用丝网版;S3:在基板导体印制阶段,待焊接浆料和导体浆料印刷完毕后,使用所述阻焊浆料进行基板表面多层热压层叠印刷;S4:将印刷后的基板进行烧制,使焊接浆料、导体浆料和阻焊浆料紧密结合,形成LTCC基板。本发明所述的基板共烧阻焊层制作方法缩减了产品工艺制备流程,提高了阻焊精度及阻焊可靠性。 | ||
搜索关键词: | 阻焊 阻焊层 浆料 无水乙醇 共烧 印刷 制作 导体浆料 焊接浆料 研磨 生瓷片 研磨体 基板 产品工艺 基板表面 基板导体 有机载体 抽风柜 搅拌棒 丝网版 粘稠状 多层 放入 挥发 热压 制备 烧制 体内 印制 分割 | ||
【主权项】:
1.一种LTCC基板共烧阻焊层制作方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:制作阻焊浆料;S11:将生瓷片分割为尺寸较小的片状放入研磨体中;S12:倒入无水乙醇,使用搅拌棒进行搅拌,使生瓷片充分溶于无水乙醇;S13:待研磨体内的液体变成粘稠状时,将研磨体置于抽风柜内,等待无水乙醇挥发干净后,加入有机载体进行研磨,制成阻焊浆料;S2:制作阻焊层印刷用丝网版;S3:在基板导体印制阶段,待焊接浆料和导体浆料印刷完毕后,使用所述阻焊浆料进行基板表面多层热压层叠印刷;S4:将印刷后的基板进行烧制,使焊接浆料、导体浆料和阻焊浆料结紧密结合,形成LTCC基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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