[发明专利]一种晶圆高效清洗装置以及清洗方法在审
| 申请号： | 201811170089.0 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109201608A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;周少龙 | 申请（专利权）人： | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园3*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆高效清洗装置，它包括水槽，水槽内放置有待清洗晶圆，水槽上方盖有顶罩，顶罩内设置有喷淋喷雾装置，水槽底部两侧设置有进水管，水槽两侧面开有溢流口，水槽的底部开有排液口。本发明还公开了一种晶圆高效清洗方法，通过进气管向水槽内通氮气，利用高纯氮气排除空气，降低喷淋液汇总掺杂氧气的概率，采用浸泡溢流清洗的方式稀释并清除晶圆表面的粘附的化学品,喷淋和喷雾这两种方式在不同时段分开进行，喷淋保证每个晶圆可以均匀清洗，喷雾保持晶圆湿润，减少纯水的用量。 | ||
| 搜索关键词： | 水槽 清洗 晶圆 喷淋 种晶 高效清洗装置 顶罩 喷雾 高纯氮气 晶圆表面 两侧设置 排除空气 喷雾装置 化学品 进气管 进水管 两侧面 排液口 喷淋液 通氮气 溢流口 粘附的 稀释 溢流 氧气 浸泡 掺杂 湿润 概率 保证 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆高效清洗装置，其特征在于：它包括水槽，所述水槽内放置有待清洗晶圆，所述水槽上方盖有顶罩，所述顶罩内设置有喷淋喷雾装置，所述水槽底部两侧设置有进水管，所述水槽两侧面开有溢流口，所述水槽的底部开有排液口。
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