[发明专利]一种晶圆高效清洗装置以及清洗方法

权利要求书

1.一种晶圆高效清洗装置，其特征在于：它包括水槽，所述水槽内放置有待清洗晶圆，所述水槽上方盖有顶罩，所述顶罩内设置有喷淋喷雾装置，所述水槽底部两侧设置有进水管，所述水槽两侧面开有溢流口，所述水槽的底部开有排液口。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述喷淋喷雾装置包括多个喷淋管和多个喷雾管。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆高效清洗装置，其特征在于：所述水槽底部两侧设置有进气管，该进气管内通入有氮气。

4.一种晶圆高效清洗方法，其特征在于：该晶圆清洗方法主要包括以下步骤：

第一步，晶圆从化学品槽出来并快速进入装满纯水的水槽后，顶罩自动盖上，开启进气管让高纯氮气进入腔体，排除腔内空气；

第二步，启动进水管供液，采用浸泡溢流清洗的方式稀释并清除晶圆表面的粘附的化学品；

第三步，进水管停止供液，打开排液口，清洗液迅速从排液口流出，同时打开喷淋管，使纯水从上向下喷淋晶圆表面；

第四步，水槽内液体排完后，开启进水管，补液同时打开喷淋管，使纯水从上向下喷淋晶圆表面；

第五步，液面上升至溢流口时，停止喷淋并持续供液溢流清洗；

第六步，再将喷淋管关闭，开启喷雾管，保持晶圆表面湿润；

第七步，关闭进气管，拿开顶罩，取走晶圆。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆高效清洗方法，其特征在于：第六步，开启喷雾管之前，视化学品的粘稠性而定重复第三部和第五步若干次。