[发明专利]一种显示面板及其制作方法

摘要

本发明实施例提供了一种显示面板及其制作方法，其包括：使用多穿透率的半色调光罩在光阻层上形成位于栅极正上方的凹槽和位于基板中间区域上方的第一通孔，并去除光阻层的边缘部分，通过第一通孔将光阻层分割成在栅极一侧的第一区域和另一侧的第二区域。通过使用一道多穿透率的半色调光罩，将光阻层分割成在栅极一侧的第一区域和另一侧的第二区域，将光电二极管阵列的制程的光罩与显示面板的制作工艺中第二道光罩相融合，从而达到了减少光罩，节约制程成本的目的。

主权项

1.一种显示面板制作方法，其特征在于，包括:/n提供一层基板，在所述基板上形成栅极；/n在所述栅极上依次覆盖栅极绝缘层、半导体层、接触层、第二金属层、光电二极管层，并在所述光电二极管层表面覆盖光阻层；/n通过多穿透率的半色调光罩在所述光阻层上形成位于所述栅极正上方的凹槽和位于所述基板中间区域上方的第一通孔，并去除光阻层的边缘部分，通过所述第一通孔将光阻层分割成在所述栅极一侧的第一区域和另一侧的第二区域；/n对未被所述光阻层覆盖的区域进行蚀刻至暴露出所述栅极绝缘层；/n导通所述凹槽部位形成暴露所述光电二极管层的第二通孔；/n对所述第二通孔处进行蚀刻直至暴露出所述半导体层，以形成通过所述接触层与半导体层相接触的源极和漏极；/n去除所述第一区域剩余的光阻层以及所述第一区域的所述光电二极管层；/n去除所述第二区域的所述光阻层，并在所述基板上方裸露的表面覆盖钝化层；/n在所述钝化层表面形成对应所述漏极的第一电极过孔和对应所述光电二极管层的第二电极过孔；/n在所述第一电极过孔和所述第二电极过孔处形成像素电极。/n