[发明专利]多轮组系统的主轮直径检知方法

摘要

一种多轮组系统的主轮直径检知方法，包含下列步骤:(A)设定线材最终跑线于所述多轮组系统的线速度目标值V_T，再针对主轮输入假定直径R_S。(B)量测固定直径转动件的转速，以获得所述线材运行于所述多轮组系统的线速度真实值V_R。(C)检知所述线速度目标值V_T与所述线速度真实值V_R是否满足V_T/V_R＝1，若否，则修正所述假定直径R_S并重回到步骤(A)，若是，则所输入的所述假定直径R_S确实为所述主轮的真实直径R_r。将本发明应用于晶圆切片机的多轮组系统时，能借通过明确得知主轮真实直径值，而使所述多轮组系统于跑线过程中缩减张力轮发生位移的机会，以利所述多轮组系统发展高线速制程。

主权项

1.一种多轮组系统的主轮直径检知方法，所述多轮组系统包括均能转动的主轮、固定直径转动件，及线材，所述线材绕过所述主轮及所述固定直径转动件且随所述主轮与所述固定直径转动件的运转而移动，其特征在于：所述多轮组系统的主轮直径检知方法包含下列步骤:(A)针对主轮输入假定直径:设定所述线材于所述多轮组系统的线速度目标值V_T，再针对具真实直径R_r的所述主轮输入假定直径R_S；(B)量测固定直径转动件的转速:量测所述固定直径转动件的转速，以得所述线材运行于所述多轮组系统的线速度真实值V_R；及(C)检知所述线速度目标值V_T与所述线速度真实值V_R是否满足下列条件:V_T/V_R＝1，其中，若V_T/V_R<1，则调高所述假定直径R_S，若V_T/V_R>1，则调低所述假定直径R_S，若满足所述条件，则所输入的所述假定直径R_S为所述主轮的真实直径R_r。