[发明专利]测序芯片的制备方法及测序芯片、测序仪有效
申请号: | 201811163359.5 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN110964793B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 陈家诚 | 申请(专利权)人: | 深圳华大智造极创科技有限公司 |
主分类号: | C12Q1/6869 | 分类号: | C12Q1/6869;C12M1/34 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 彭辉剑;习冬梅 |
地址: | 518000 广东省深圳市盐田区盐*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供的一种测序芯片的制备方法,包括以下步骤:去除芯片待处理表面的自然氧化层得到裸芯片表面,然后对所述裸芯片表面进行清洗;在所述裸芯片表面上依次形成氧化层和HDMS层;通过光刻胶的刻蚀在所述HDMS层上形成阵列图案,然后刻蚀去除暴露的所述HDMS层,沉积氨基层于去除所述HDMS层之后而暴露的表层上,待去除所述光刻胶后得到测序芯片。本发明的方法通过重新生成氧化层代替自然氧化层,有效增强荧光信号强度。同时结合反射层及金属栅格的设置,使得芯片测试时荧光信号强度显著变强,同时隔离了相邻像素间的信号串扰,应用该芯片的测序仪的测试正确率高,适于快速、高效地进行测序。 | ||
搜索关键词: | 芯片 制备 方法 测序仪 | ||
【主权项】:
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