[发明专利]一种软X射线掠入射望远镜角分辨率的检测方法有效
| 申请号： | 201811149680.8 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109342026B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 陈波;张亚超;刘鹏;王孝东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种软X射线掠入射望远镜角分辨率的检测方法。该软X射线掠入射望远镜角分辨率的检测方法通过设定的检测光路和计算方法，间接地进行软X射线掠入射望远镜角分辨率的检测，具有检测难度系数低且提高软X射线掠入射望远镜的研制效率优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 入射 望远镜 分辨率 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种软X射线掠入射望远镜角分辨率的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：步骤S1：基于可见光波段的角分辨率检测光路系统，对软X射线掠入射望远镜进行成像检测，获得可见光波段的分辨率测试靶像；步骤S2：根据衍射光学原理获得用于计算软X射线掠入射望远镜在可见光波段和工作波段的衍射点扩散函数，再采用图像复原方法从所述可见光波段的分辨率测试靶像中去除孔径衍射效应，获得分辨率测试靶的几何像；步骤S3：采用表面轮廓仪测量望远镜的掠入射反射镜的表面功率谱密度，并基于所述表面功率谱密度和表面散射理论计算获得软X射线掠入射望远镜在工作波段的散射点扩散函数；步骤S4：将所述分辨率测试靶的几何像、所述工作波段的衍射点扩散函数和所述工作波段的散射点扩散函数进行卷积运算，获得工作波段的分辨率测试靶像；步骤S5：根据所述工作波段的分辨率测试靶像，获得能够相互分辨的线对，根据所述线对计算得到工作波段的角分辨率。
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