[发明专利]一种精密气体流量自动控制系统在审

专利信息
申请号: 201811145784.1 申请日: 2018-09-29
公开(公告)号: CN109189109A 公开(公告)日: 2019-01-11
发明(设计)人: 官荣涛;彭慧娟;袁聪;彭华平;韦金燕 申请(专利权)人: 广州南控自动化设备有限公司
主分类号: G05D7/06 分类号: G05D7/06
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;黄华莲
地址: 510000 广东省广州市黄埔区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种精密气体流量自动控制系统,包括气源、控制模块、舵机、齿轮组和与所述气源连通的管道,所述管道上自气源始依次设置有手动控制阀、自动控制阀以及旋进旋涡流量计,所述旋进旋涡流量计的信号端与所述控制模块连接,所述控制模块的输出端通过所述舵机与所述齿轮组连接,所述齿轮组的输出轴与所述自动控制阀连接。本发明提供的一种精密气体流量自动控制系统,其结构简单、成本低廉且控制精度高,以适用于小流量气体的测量与控制。
搜索关键词: 自动控制系统 控制模块 气体流量 齿轮组 旋进旋涡流量计 精密 自动控制阀 舵机 气源 手动控制阀 小流量气体 气源连通 依次设置 输出端 输出轴 信号端 测量
【主权项】:
1.一种精密气体流量自动控制系统,其特征在于,包括气源、控制模块、舵机、齿轮组和与所述气源连通的管道,所述管道上自气源始依次设置有手动控制阀、自动控制阀以及旋进旋涡流量计,所述旋进旋涡流量计的信号端与所述控制模块连接,所述控制模块的输出端通过所述舵机与所述齿轮组连接,所述齿轮组的输出轴与所述自动控制阀连接;所述旋进旋涡流量计包括流量计本体和控制器,所述流量计本体包括壳体、起旋器、设置于壳体内并用于检测通过壳体的气体流量的流量探头和设置于壳体内并用于控制流量计本体开启和关闭的开关阀,所述壳体包括进气口和出气口,所述起旋器设置于所述壳体的进气口处,所述流量探头和开关阀分别与所述控制器电连接,所述壳体内设有容置腔室,所述流量探头设置于所述容置腔室内,所述流量探头包括两块固定极板和一块设置于两块固定极板之间的活动极板,两块所述固定极板和所述动极板均平行设置。
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