[发明专利]一种精密气体流量自动控制系统

说明书

本发明涉及一种精密气体流量自动控制系统，包括气源、控制模块、舵机、齿轮组和与所述气源连通的管道，所述管道上自气源始依次设置有手动控制阀、自动控制阀以及旋进旋涡流量计，所述旋进旋涡流量计的信号端与所述控制模块连接，所述控制模块的输出端通过所述舵机与所述齿轮组连接，所述齿轮组的输出轴与所述自动控制阀连接。本发明提供的一种精密气体流量自动控制系统，其结构简单、成本低廉且控制精度高，以适用于小流量气体的测量与控制。

技术领域

本发明涉及气体流量控制领域，具体涉及一种精密气体流量自动控制系统。

背景技术

气体流量控制装置主要是用于控制输出的气体流量，目前能够实现气体流量的自动控制装置较多，但大多针对大流量气体的控制，存在结构组件多、连接关系混乱、结构复杂、加工装配困难、成本较高的缺点；并且由于主要是针对大流量气体设计，因此大流量气体控制装置的管道口径较大，如用于控制小流量气体，则存在控制精度差、容易产生较大误差的不足，因此普通的气体流量控制装置不适用于小流量气体的测量与控制。

发明内容

本发明提供了一种精密气体流量自动控制系统，其结构简单、成本低廉且控制精度高，以适用于小流量气体的测量与控制。

为实现上述目的，本发明提供了一种精密气体流量自动控制系统，包括气源、控制模块、舵机、齿轮组和与所述气源连通的管道，所述管道上自气源始依次设置有手动控制阀、自动控制阀以及旋进旋涡流量计，所述旋进旋涡流量计的信号端与所述控制模块连接，所述控制模块的输出端通过所述舵机与所述齿轮组连接，所述齿轮组的输出轴与所述自动控制阀连接；所述旋进旋涡流量计包括流量计本体和控制器，所述流量计本体包括壳体、起旋器、设置于壳体内并用于检测通过壳体的气体流量的流量探头和设置于壳体内并用于控制流量计本体开启和关闭的开关阀，所述壳体包括进气口和出气口，所述起旋器设置于所述壳体的进气口处，所述流量探头和开关阀分别与所述控制器电连接，所述壳体内设有容置腔室，所述流量探头设置于所述容置腔室内，所述流量探头包括两块固定极板和一块设置于两块固定极板之间的活动极板，两块所述固定极板和所述动极板均平行设置。

作为优选方案，所述控制模块包括单片机、按键操作模块、蓄电池和液晶显示屏，所述旋进旋涡流量计的信号端、按键操作模块和蓄电池分别与所述单片机的输入端连接，所述单片机的输出端分别连接所述液晶显示屏和所述舵机。

作为优选方案，所述蓄电池与所述单片机之间设置有稳压电路。

作为优选方案，所述齿轮组包括相互啮合的齿轮一和齿轮二，所述齿轮一的转轴与舵机轴连接，齿轮二的转轴与自动控制阀连接。

作为优选方案，所述流量探头还包括由一块横版和两块竖板组成的截面呈“U”形的底座，两块所述固定极板固定设置于所述底座的两个内侧面上，所述活动极板设置于两块所述固定极板的中间位置，所述动极板通过悬丝与所述壳体连接并可靠近或远离任意一块所述固定极板运动。

作为优选方案，所述起旋器与所述壳体的内壁可转动连接，所述起旋器包括导芯和多个沿所述导芯的侧壁的周向均布的螺旋叶片。

作为优选方案，所述流量探头设置于所述起旋器与开关阀之间，所述出气口处设有后整流器，所述后整流器与所述控制器电连接。

作为优选方案，所述开关阀为球形控制阀，所述球形控制阀与所述壳体的内壁可转动连接，所述控制器还包括显示屏和用于手动控制所述开关阀开启和关闭的紧急按钮。

作为优选方案，所述旋进旋涡流量计还包括设置于所述壳体内并用于检测壳体内气体的压力的压力传感器，所述压力传感器与所述控制器电连接。

作为优选方案，所述旋进旋涡流量计还包括设置于所述壳体内并用于检测壳体内气体的温度的温度传感器，所述温度传感器与所述控制器电连接。