[发明专利]一种多功能的净化曝光装置

摘要

本发明公开了一种多功能的净化曝光装置，包括主支撑衬座，主支撑杆，辅支撑衬座，辅支撑杆，净化曝光台，选择开关，L型卡座，导料斗，滤杂不锈钢网，净化曝光箱，置放门，曝光处理机，废气引出处理排放机，消毒净化处理机和废杂可收集清理桶。本发明废气引出电机，废气处理导出罩，风叶，排出气体滤网，引出管，废气处理芯和滤杂网的设置，有利于起到良好的废气引出作用，并可通过废气处理芯和滤杂网进行深度过滤，以保证废气处理更加干净，以免排放污染环境；主安装座，支撑座，辅安装座，灯座，消毒灯管和灯罩的设置，有利于对微电子待处理件进行杀毒工作，以保证微电子器件的曝光净化处理工作顺利进行。

主权项

1.一种多功能的净化曝光装置，其特征在于，该多功能的净化曝光装置包括主支撑衬座(1)，主支撑杆(2)，辅支撑衬座(3)，辅支撑杆(4)，净化曝光台(5)，选择开关(6)，L型卡座(7)，导料斗(8)，滤杂不锈钢网(9)，净化曝光箱(10)，置放门(11)，曝光处理机(12)，废气引出处理排放机(13)，消毒净化处理机(14)和废杂可收集清理桶(15)，所述的主支撑衬座(1)横向螺栓安装在主支撑杆(2)的下端；所述的辅支撑衬座(3)横向螺栓安装在辅支撑杆(4)的下端；所述的主支撑杆(2)分别纵向上端螺栓安装在净化曝光台(5)的下部左侧前后两端；所述的辅支撑杆(4)分别纵向上端螺栓安装在净化曝光台(5)的下部右侧前后两端；所述的选择开关(6)纵向螺钉连接在左侧前部设置的主支撑杆(2)的左上侧；所述的L型卡座(7)分别螺栓安装在净化曝光台(5)的下部左右两侧中间位置；所述的导料斗(8)镶嵌在净化曝光台(5)内部下侧中间位置；所述的滤杂不锈钢网(9)镶嵌在净化曝光台(5)的内部上侧中间位置；所述的净化曝光箱(10)纵向下端螺栓安装在净化曝光台(5)的上表面中间位置；所述的置放门(11)纵向合页连接在净化曝光箱(10)的右侧中间位置进口处；所述的曝光处理机(12)纵向螺栓安装在净化曝光箱(10)的内部左壁中间位置；所述的废气引出处理排放机(13)纵向安装在净化曝光箱(10)的内部顶端中间位置；所述的消毒净化处理机(14)安装在净化曝光箱(10)的内部上侧中间位置；所述的废杂可收集清理桶(15)纵向安装在导料斗(8)的下端；所述的废气引出处理排放机(13)包括废气引出电机(131)，废气处理导出罩(132)，风叶(133)，排出气体滤网(134)，引出管(135)，废气处理芯(136)和滤杂网(137)，所述的废气引出电机(131)的输出轴贯穿废气处理导出罩(132)的内部上侧中间位置并键连接风叶(133)的内部中间位置；所述的排出气体滤网(134)分别镶嵌在废气处理导出罩(132)的内部左右两侧中间位置；所述的引出管(135)纵向上端螺纹连接在废气处理导出罩(132)的下端；所述的废气处理芯(136)横向螺钉连接在废气处理导出罩(132)的内部上侧中间位置；所述的滤杂网(137)螺钉连接在废气处理导出罩(132)的内部下端。