[发明专利]等离子体处理装置

摘要

本发明涉及一种等离子体处理装置，能够抑制异常放电并且细致地调整等离子体的密度的分布。等离子体处理装置(10)具备气体喷射部(41)和天线(54)。气体喷射部从腔室(11)的上部向腔室(1)内供给处理气体。天线具有内侧线圈(542)和外侧线圈(541)。内侧线圈设置在气体喷射部的周围。外侧线圈设置在气体喷射部和内侧线圈的周围。另外，构成外侧线圈的线路的两端开放，从高频电源(61)向该线路的中点或者该中点附近供电，外侧线圈在该中点的附近处接地，以从高频电源供给的高频电力的1/2波长进行谐振。另外，关于内侧线圈，构成内侧线圈的线路的两端经由电容器相互连接，内侧线圈与外侧线圈感应耦合。

主权项

1.一种等离子体处理装置，其特征在于，具备：腔室，其用于收容被处理基板；电介质窗，其构成所述腔室的上部；气体供给部，其从所述腔室的上部向所述腔室内供给处理气体；天线，其设置在所述腔室的上方且所述气体供给部的周围，通过向所述腔室内供给高频来在所述腔室内生成所述处理气体的等离子体；以及电力供给部，其向所述天线供给高频电力，其中，所述天线具有：内侧线圈，其以包围所述气体供给部的方式设置在所述气体供给部的周围；以及外侧线圈，其以包围所述气体供给部和所述内侧线圈的方式设置在所述气体供给部和所述内侧线圈的周围，所述内侧线圈和所述外侧线圈中的任一方的线圈构成为：构成所述一方的线圈的线路的两端开放，从所述电力供给部向所述线路的中点或者该中点的附近供电，在所述中点的附近处接地，以从所述电力供给部供给的高频电力的1/2波长进行谐振，在所述内侧线圈和所述外侧线圈中的另一方的线圈中，构成所述另一方的线圈的线路的两端经由电容器连接，所述另一方的线圈与所述一方的线圈感应耦合。