[发明专利]印刷Al2O3制备高效PERC电池的制备方法

摘要

本发明涉及印刷Al₂O₃制备高效PERC电池的方法，包括步骤：硅片去除损伤层，表面抛光、单面制绒，形成金字塔绒面；将带有金字塔绒面的硅片，在高温、含磷的环境中，形成N+发射结；将带有N+发射结硅片至于HNO₃/HF溶液中，去除带有N+发射结硅片的背面和边缘绕度的重掺杂N+区域，降低其漏电；采用丝网印刷的方式，印刷Al₂O₃前驱体，经过烘干、高温退火形成高钝化质量的Al₂O₃层；将高钝化质量的Al₂O₃层的硅片的正面及背面，采用PECVD或磁控溅射法，沉积80nm‑100nm的氢化非晶氮化硅钝化减反射层；对所述氢化非晶氮化硅钝化减反射层进行选择性图形化开膜；通过丝网印刷的方式，在获得的开膜后的硅片的背面处印刷铝浆和银电极，正面印刷金属电极栅线，形成正背面电极金属化接触。

主权项

1.印刷Al2O3制备高效PERC电池的方法，其特征在于，包括步骤：步骤1：硅片在一碱制绒槽中去除损伤层，并进行表面抛光、单面制绒，形成1μm‑6μm高的金字塔绒面；步骤2：将步骤1中获得的带有金字塔绒面的硅片，在750‑860摄氏度的高温、含磷的石英管环境中，通过高温扩散，形成N+发射结；步骤3：将步骤2中获得的带有N+发射结硅片至于装有HNO3/HF溶液的产线湿法刻蚀设备中，刻蚀去除带有N+发射结硅片的背面和边缘绕度的重掺杂N+区域，降低其漏电；步骤4：采用丝网印刷的方式，将步骤3获得的刻蚀去除带有N+发射结硅片的背面和边缘绕度的重掺杂N+区域的硅片的背面印刷Al2O3前驱体，经过烘干、高温退火形成高钝化质量的Al2O3层；步骤5：在步骤4获得的高钝化质量的Al2O3层的硅片的正面及背面，采用PECVD或磁控溅射法，沉积80nm‑100nm的氢化非晶氮化硅钝化减反射层；步骤6：采用ns或Ps激光对所述氢化非晶氮化硅钝化减反射层进行选择性图形化开膜，为形成局部接触做准备；步骤7：通过丝网印刷的方式，在步骤6获得的开膜后的硅片的背面处印刷铝浆和银电极，正面印刷金属电极栅线，形成正背面电极金属化接触。