[发明专利]印刷Al2O3制备高效PERC电池的制备方法

说明书

本发明涉及印刷Al₂O₃制备高效PERC电池的方法，包括步骤：硅片去除损伤层，表面抛光、单面制绒，形成金字塔绒面；将带有金字塔绒面的硅片，在高温、含磷的环境中，形成N+发射结；将带有N+发射结硅片至于HNO₃/HF溶液中，去除带有N+发射结硅片的背面和边缘绕度的重掺杂N+区域，降低其漏电；采用丝网印刷的方式，印刷Al₂O₃前驱体，经过烘干、高温退火形成高钝化质量的Al₂O₃层；将高钝化质量的Al₂O₃层的硅片的正面及背面，采用PECVD或磁控溅射法，沉积80nm‑100nm的氢化非晶氮化硅钝化减反射层；对所述氢化非晶氮化硅钝化减反射层进行选择性图形化开膜；通过丝网印刷的方式，在获得的开膜后的硅片的背面处印刷铝浆和银电极，正面印刷金属电极栅线，形成正背面电极金属化接触。

技术领域

本发明涉及一种太阳能电池的制备方法，尤其是涉及一种印刷Al₂O₃制备高效PERC电池的制备方法。

背景技术

随着太阳能光伏市场的发展，人们对高效的晶体硅电池的需求越来越急迫。目前单晶PERC电池目前从成本，还是电池效率方面，都有极具竞争性。但是前期投资成本较高，尤其是Al₂O₃关键镀膜设备，本专利正是在不降低电池背面钝化效果的前提下，降低前期设备投资成本。印刷Al₂O₃制备高效PERC电池的制备方法，是一种低成本的，可大幅降低前期设备投资的，制备高效PERC电池的技术，具有非常广阔的市场前景。

目前常规PERC电池背面面钝化采用的是PECVD或ALD方式沉积的Al₂O₃薄膜，但设备投资成本较高。

发明内容

本发明的目的就是进一步降低PERC电池前期投资成本，且兼容现有PERC 量产路径的基于印刷Al₂O₃制备高效PERC电池的制备方法，是高效单晶PERC 电池的重点开发方向。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

印刷Al₂O₃制备高效PERC电池的方法，其特征在于，包括步骤：

步骤1：硅片在一碱制绒槽中去除损伤层，并进行表面抛光、单面制绒，形成1μm-6μm高的金字塔绒面；

步骤2：将步骤1中获得的带有金字塔绒面的硅片，在750-860摄氏度的高温、含磷的环境中，通过高温扩散，形成N+发射结；

步骤3：将步骤2中获得的带有N+发射结硅片至于装有HNO₃/HF溶液的产线湿法刻蚀设备中，刻蚀去除带有N+发射结硅片的背面和边缘绕度的重掺杂 N+区域，降低其漏电；

步骤4：采用丝网印刷的方式，将步骤3获得的刻蚀去除带有N+发射结硅片的背面和边缘绕度的重掺杂N+区域的硅片的背面印刷Al₂O₃前驱体，经过烘干、高温退火形成高钝化质量的Al₂O₃层；

步骤5：在步骤4获得的高钝化质量的Al₂O₃层的硅片的正面及背面，采用 PECVD或磁控溅射法，沉积80nm-100nm的氢化非晶氮化硅钝化减反射层；

步骤6：采用ns或Ps激光对所述氢化非晶氮化硅钝化减反射层进行选择性图形化开膜，为形成局部接触做准备；

步骤7：通过丝网印刷的方式，在步骤6获得的开膜后的硅片的背面处印刷铝浆和银电极，正面印刷金属电极栅线，形成正背面电极金属化接触。