[发明专利]一种掩膜板及其制备方法有效
| 申请号： | 201811126552.1 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109295413B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张峰杰;王伟杰;朱海彬;金鑫 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板及其制备方法，涉及掩膜板技术领域，为解决相关技术中的掩膜板厚度较大的技术问题而发明。该掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件。本发明可用于OLED显示面板中有机发光材料的蒸镀工艺中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，其特征在于，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件。
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