[发明专利]一种掩膜板及其制备方法

说明书

本发明公开了一种掩膜板及其制备方法，涉及掩膜板技术领域，为解决相关技术中的掩膜板厚度较大的技术问题而发明。该掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件。本发明可用于OLED显示面板中有机发光材料的蒸镀工艺中。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板及其制备方法。

背景技术

目前，在制作OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示屏的有机发光层的过程中，利用具有图案的蒸镀掩膜板掩膜，并通过真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成R、G、B三个子像素的有机发光层。在蒸镀工艺中掩膜板需要和蒸镀基板紧密贴合，这样才保证蒸镀效果。如果掩膜板和蒸镀基板贴合不紧密，掩膜板和蒸镀基板之间留有空隙，就会产生蒸镀阴影(shadow)，从而引起混色，降低蒸镀工艺的良率。因此，如何将掩膜板和蒸镀基板紧密贴合成具体十分重要的意义。

相关技术中的一种掩膜板，包括掩膜板本体，掩膜板本体上开设有图案开口，掩膜板本体采用的是玻璃材质。为了使玻璃材质的掩膜板本体和蒸镀基板贴合，是在掩膜板本体上镀一层磁性材料。然而，在掩膜板本体上镀一层磁性材料，会增加掩膜板的厚度，不利于掩膜板的轻薄化。

发明内容

本发明实施例提供一种掩膜板及其制备方法，用于解决相关技术中的掩膜板厚度较大的技术问题。

为达到上述目的，第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上开设有图案开口，所述掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个所述容纳孔内均填充有磁性吸附件。

进一步地，多个所述容纳孔按预设规律分散排布。

进一步地，所述图案开口包括多个按预设规律分散排布的开孔，每个所述开孔的周围至少分布有一个所述容纳孔。

更进一步地，多个所述开孔与多个所述容纳孔在所述掩膜板本体上排布成阵列；在所述阵列中，每行或者每列均包括多个所述开孔和多个所述容纳孔，并且多个所述开孔与多个所述容纳孔交错设置。

更进一步地，所述开孔为锥孔；所述容纳孔为盲孔，并且所述容纳孔的孔口与所述开孔的小端孔口位于所述掩膜板本体的同一侧表面上。

进一步地，所述磁性吸附件为磁性材料层。

进一步地，所述掩膜板本体的材料为玻璃。

第二方面，本发明实施例提供了一种掩膜板的制备方法，包括以下步骤：提供掩膜板本体；在所述掩膜板本体上开设图案开口；在所述掩膜板本体上分散开设多个容纳孔；在每个所述容纳孔内均填充磁性吸附件。

进一步地，在每个所述容纳孔内设置磁性吸附件包括：向每个所述容纳孔内注入磁性材料，以形成磁性材料层；其中，所述磁性材料层为所述磁性吸附件。

更进一步地，所述容纳孔通过激光刻蚀或者等离子刻蚀的方式在所述掩膜板本体上开设。

本发明实施例提供的掩膜板及其制备方法，由于掩膜板本体上还分散开设有多个容纳孔，每个容纳孔内均填充有磁性吸附件，这样当掩膜板与蒸镀基板相贴合时，每个容纳孔内填充的磁性吸附件就可以将蒸镀基板吸附，从而保证两者贴合在一起。由于磁性吸附件是位于掩膜板本体的容纳孔内，并不占用掩膜板本体厚度上的空间，该掩膜板本体的厚度就可以大大地减小，从而有利于掩膜板的轻薄化。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。