[发明专利]燃料标靶产生器在审
| 申请号： | 201811074418.1 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109752927A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 赖政豪;张汉龙;陈立锐 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开部分实施例提供一种燃料标靶产生器。上述燃料标靶产生器包括一缓冲腔体，配置用于接收一标靶燃料。上述燃料标靶产生器还包括一存储腔体，连结至缓冲腔体并配置用于接收来自缓冲腔体的标靶燃料。上述燃料标靶产生器也包括一阀构件，配置用于控制标靶燃料从缓冲腔体到存储腔体的流动。另外，上述燃料标靶产生器包括一喷嘴，连结至存储腔体并配置用于供应标靶燃料。 | ||
| 搜索关键词： | 标靶 燃料 产生器 缓冲腔体 存储腔体 配置 连结 喷嘴 阀构件 流动 | ||
【主权项】：
1.一种燃料标靶产生器，包括：一缓冲腔体，配置用于接收一标靶燃料；一存储腔体，连结至该缓冲腔体并配置用于接收来自该缓冲腔体的该标靶燃料；一阀构件，配置用于控制该标靶燃料从该缓冲腔体到该存储腔体的流动；以及一喷嘴，连结至该存储腔体并配置用于供应该标靶燃料。
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