[发明专利]高解析度阶台定位器在审
| 申请号： | 201811067603.8 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109585350A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | J·C·多纳赫 | 申请（专利权）人： | 鲁道夫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/67 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明所说明的是用于在大的移动距离上使基板相对于投影相机或其它设备定位的机构。此机构包括一个或多个台车，其在主要方向上与阶台一起移动，并在阶台于辅助方向上移动时保持静止。台车的位置，以及台车与基板被支撑于其上的阶台之间的相对距离有利于对齐。 | ||
| 搜索关键词： | 阶台 台车 辅助方向 高解析度 基板相对 设备定位 对齐 定位器 上移动 基板 投影 静止 相机 移动 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于定位阶台的移动机构，包括：导轨，该导轨具有线性编码器；台车，其在该导轨上移动，该台车具有读取头，该读取头指示该台车的沿着该导轨的标称位置；线性耦合装置，其将该移动机构连接到该阶台，使得当该阶台在与该导轨平行的方向上移动时，该线性耦合装置使该台车沿着该导轨移动，且当该阶台在与该导轨横切的方向上移动时，该阶台将能够相对于该台车移动；以及位于该阶台上的参考表面以及位于该台车上的相对的至少一个距离感测器，由该读取头所回报的位置及由该距离感测器所回报的标称距离被结合来定位该阶台。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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