[发明专利]高解析度阶台定位器

权利要求书

1.一种用于定位阶台的移动机构，包括：

导轨，该导轨具有线性编码器；

台车，其在该导轨上移动，该台车具有读取头，该读取头指示该台车的沿着该导轨的标称位置；

线性耦合装置，其将该移动机构连接到该阶台，使得当该阶台在与该导轨平行的方向上移动时，该线性耦合装置使该台车沿着该导轨移动，且当该阶台在与该导轨横切的方向上移动时，该阶台将能够相对于该台车移动；以及

位于该阶台上的参考表面以及位于该台车上的相对的至少一个距离感测器，由该读取头所回报的位置及由该距离感测器所回报的标称距离被结合来定位该阶台。

2.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，还包括在该台车上的至少两个距离感测器，由所述至少两个距离感测器所回报的距离之间的差异被使用来计算该阶台相对于该台车的角度。

3.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，其中，该参考表面包括多个独立区段，其被定位来形成标称平面参考表面。

4.如权利要求3所述的用于定位阶台的移动机构，还包括在该台车上的至少两个距离感测器，在该台车上的该至少两个距离感测器彼此间具有间距，其将该至少两个距离感测器定址到该参考表面的间隔开的区段。

5.如权利要求3所述的用于定位阶台的移动机构，还包括在该台车上的至少两对距离感测器，在该台车上的该至少两对距离感测器中的每一者在各个距离感测器之间具有间距，其小于该平面参考表面的区段的宽度，该至少两对距离感测器彼此间具有间距，其将该至少两对距离感测器定址到该参考表面的间隔开的区段。

6.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，其中，该导轨被定位在该阶台上方。

7.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，其中，该导轨被定位在该阶台下方。

8.如权利要求1所述的用于定位阶台的移动机构，其中，该阶台相对于基座移动，该阶台藉由空气轴承机构、机械轴承机构、及电磁轴承机构中之一而被支撑在该基座上方。

9.一种用于定位阶台的定位机构，包括：

多个轨道，该多个轨道中的每一个轨道具有尺度；

多个块体，该多个块体中的每一个块体被布置来在所述多个轨道中的一个轨道上移动，该多个块体中的每一个块体具有感测器，该感测器藉由从该尺度读取位置而指示块体的沿着其各自的轨道的标称位置；

多个连接器，每一个连接器将该多个块体中的一个块体连接到该阶台，使得当该阶台在平行于该多个轨道中的一个轨道的方向上移动时，该连接器使关联于该轨道的该块体沿着该轨道移动，以及当该阶台在与该轨道横切的方向上移动时，该阶台将能够相对于该块体移动；

位于该阶台上的参考表面以及位于该多个块体中的每一个块体上的相对的至少一个距离感测器，由所述至少一个距离感测器所回报的关于每一个轨道的尺度的位置及由所述至少一个距离感测器中的每一个距离感测器所回报的标称距离被结合来定位该阶台。

10.如权利要求9所述的用于定位阶台的定位机构，其中，该多个轨道中的至少两个轨道被设置为相互垂直的。

11.如权利要求9所述的用于定位阶台的定位机构，其中，该轨道被定位在该阶台上方。

12.如权利要求9所述的用于定位阶台的定位机构，其中，该轨道被定位在该阶台下方。