[发明专利]批次型等离子体衬底处理装置有效
| 申请号： | 201811062609.6 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109659214B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 姜盛晧;赵政熙;崔圭镐;李弘源;金苍乭 | 申请（专利权）人： | 株式会社尤金科技 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种将在单独的空间中分解的工艺气体供应到处理空间中的批次型衬底处理装置。所述衬底处理装置包括：管材；衬底支撑部件；气体供应管道；排气部件；以及等离子体反应部件，其中所述等离子体反应部件可包括多个电源供应电极部件及接地电极部件。 | ||
| 搜索关键词： | 批次 等离子体 衬底 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种衬底处理装置，其特征在于，包括：管材，被配置成提供处理空间，在所述处理空间中处理多个衬底；衬底支撑部件，被配置成于所述处理空间中在第一方向上装载所述多个衬底；气体供应管道，被配置成将处理所述衬底的工艺所需的工艺气体供应到所述管材中；排气部件，被配置成与所述管材连通且将所述处理空间内的工艺残留物排放到外部；以及等离子体反应部件，从所述管材延伸，通过用以界定形成有等离子体的放电空间的分离壁与所述处理空间分离，并对从所述气体供应管道供应的所述工艺气体进行等离子体分解以由此将经分解工艺气体供应到所述处理空间，其中，所述等离子体反应部件包括：多个电源供应电极部件，容置在所述放电空间中且在所述第一方向上延伸；以及接地电极部件，设置在所述多个电源供应电极部件之间且在所述第一方向上延伸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尤金科技，未经株式会社尤金科技许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811062609.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种阵列孔空心阴极放电离子源
- 下一篇：等离子体处理装置和检测电路
