[发明专利]一种长焦大离轴量离轴抛物面的检测装置及方法有效
| 申请号： | 201811056440.3 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109163682B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 胡建军;潘君骅;钱煜;王伟 | 申请（专利权）人： | 苏州如期光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 王利斌 |
| 地址： | 215131 江苏省苏州市相城区经济开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于光学技术领域，具体涉及一种离轴抛物面的干涉检测光路及检测方法；为解决长焦大离轴量离轴抛物面的加工与检测时光路过长受气流扰动严重以及CCD对被检测工件的检测分辨率低从而导致检测精度下降的技术问题，提出一种长焦大离轴量离轴抛物面的检测方法；采用偏轴两镜系统将发散镜头虚焦点和偏轴两镜系统的像点重合，有效的缩短了光路长度；再配合标准球面反射镜、标准平面反射镜进一步缩短光路长度且压缩了光路宽度；此外该技术方案使得CCD的像元得到有效利用，增大了被检测工件的检测分辨率，可以有效遏制空气扰动对检验结果的不利影响，提高干涉检验精度，为加工符合技术要求的离轴镜提供保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长焦大离轴量离轴 抛物面 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种长焦大离轴量离轴抛物面的干涉检测光路，沿着干涉仪发出的光波传播方向依次排布有：发散镜头、标准球面反射镜、标准平面反射镜，所述的发散镜头将干涉仪发出的光波调制成发散的球面波，发散的球面波经标准球面反射镜反射入射至被测长焦大离轴量离轴抛物面，经被测长焦大离轴量离轴抛物面反射后的光波为平面波，所述平面波垂直入射至标准平面反射镜后原路返回；所述的标准球面反射镜与被测长焦大离轴量离轴抛物面组成偏轴两镜系统，且所述发散镜头虚焦点和偏轴两镜系统的像点重合。
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