[发明专利]一种在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器在审
申请号: | 201811030581.8 | 申请日: | 2018-09-05 |
公开(公告)号: | CN109060895A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 刘琦;丁桂甫 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器,包括:升温平台;设置在所述升温平台上的加热装置;设置在所述升温平台上的金属薄膜敏感电极,其中通过控制所述加热装置,使所述金属薄膜敏感电极的工作温度设定在50℃到100℃的范围内,从而,显著提高氢气传感器的响应速度和灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 金属薄膜 氢气传感器 加热装置 敏感电极 升温模式 电阻型 温度设定 灵敏度 响应 | ||
【主权项】:
1.一种在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器,包括:升温平台;设置在所述升温平台上的加热装置;设置在所述升温平台上的金属薄膜敏感电极,其中通过控制所述加热装置,使所述金属薄膜敏感电极的工作温度设定在50℃到100℃的范围内。
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