[发明专利]一种在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器在审
| 申请号： | 201811030581.8 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109060895A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 刘琦;丁桂甫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属薄膜 氢气传感器 加热装置 敏感电极 升温模式 电阻型 温度设定 灵敏度 响应 | ||
【权利要求书】：
1.一种在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器，包括：
升温平台；
设置在所述升温平台上的加热装置；
设置在所述升温平台上的金属薄膜敏感电极，其中通过控制所述加热装置，使所述金属薄膜敏感电极的工作温度设定在50℃到100℃的范围内。
2.如权利要求1所述的在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器，其特征在于，所述金属薄膜敏感电极的材料是铂、钯、钯系合金或铂系合金。
3.如权利要求1所述的在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器，其特征在于，所述金属薄膜敏感电极的形状为弯折形，线宽为10微米，厚度为150纳米。
4.如权利要求1所述的在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器，其特征在于，还包括覆盖所述加热装置的绝缘层，其中所述金属薄膜敏感电极设置在所述绝缘层上。
5.如权利要求1所述的在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器，其特征在于，所述加热装置围绕在所述金属薄膜敏感电极的周围。
6.如权利要求1所述的在升温模式下工作的电阻型金属薄膜氢气传感器，其特征在于，所述升温平台在金属薄膜敏感电极下方的区域具有凹槽或镂空结构。
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