[发明专利]一种潘宁冷阴极离子源

摘要

本发明公开了一种潘宁冷阴极离子源，通过给阳极筒和阴极之间加放电电压，使得气体在放电室内产生放电，形成等离子体；并给阴极栅网和引出栅网之间加引出电压，使离子从放电室内等离子体中通过引出栅网的引出口引出。本发明通过第一气体分布室进行第一级分配，第一级分配通过较大的第一气体分布室，使之能够很快达到整个放电区分布，但不能做到均匀，再通过第二气体分布室进行第二级分配，第二级分配通过小的第二气体分布室分布均匀，使之可以均匀分布在整个放电区。解决了现有技术中由于潘宁冷阴极离子源对气流分布要求较高，做大尺寸引出较为困难的问题。本发明可以做大尺寸引出，能够对大尺寸样品表面进行处理。

主权项

1.一种潘宁冷阴极离子源，其特征在于，包括底座(1)、进气嘴(8)、气体分布装置、阴极(3)、阳极筒(5)、安装筒(9)、永久磁钢(4)、阴极栅网(7)以及引出栅网(6)；进气嘴(8)由底座(1)的底部贯穿至顶部；气体分布装置包括连成一体的第一气体分布室和第二气体分布室，第一气体分布室的腔体体积大于第二气体分布室的腔体体积，第一气体分布室设置在底座(1)上，第一气体分布室和底座(1)之间形成第一空腔，由进气嘴(8)通入的气体能够进入第一空腔内；第一气体分布室和第二气体分布室的连接处设有若干个第一通气孔；第二气体分布室的侧壁上开设有若干个第二通气孔；第二气体分布室上设置有阴极(3)，阴极(3)上设置有第三通气孔，阴极(3)外设置有阳极筒(5)，阳极筒(5)外设置有安装筒(9)，安装筒(9)上设有若干个用于安装永久磁钢(4)的安装孔；阴极(3)位于阳极筒(5)的下面，阴极栅网(7)位于阳极筒(5)的上面，阴极栅网(7)与阳极筒(5)之间设有绝缘层(2)，阴极(3)和阴极栅网(7)相对放置；阴极栅网(7)上平行设置有引出栅网(6)，引出栅网(6)的中间设置有引出口。