[发明专利]一种潘宁冷阴极离子源

权利要求书

1.一种潘宁冷阴极离子源，其特征在于，包括底座(1)、进气嘴(8)、气体分布装置、阴极(3)、阳极筒(5)、安装筒(9)、永久磁钢(4)、阴极栅网(7)以及引出栅网(6)；

进气嘴(8)由底座(1)的底部贯穿至顶部；气体分布装置包括连成一体的第一气体分布室和第二气体分布室，第一气体分布室的腔体体积大于第二气体分布室的腔体体积，第一气体分布室设置在底座(1)上，第一气体分布室和底座(1)之间形成第一空腔，由进气嘴(8)通入的气体能够进入第一空腔内；第一气体分布室和第二气体分布室的连接处设有若干个第一通气孔；第二气体分布室的侧壁上开设有若干个第二通气孔；第二气体分布室上设置有阴极(3)，阴极(3)上设置有第三通气孔，相邻第一通气孔之间的距离由端部向中间逐渐增大；相邻第二通气孔之间的距离由端部向中间逐渐增大，阴极(3)外设置有阳极筒(5)，阳极筒(5)外设置有安装筒(9)，安装筒(9)上设有若干个用于安装永久磁钢(4)的安装孔，永久磁钢(4)沿安装筒(9)的周向分布，若干个永久磁钢(4)相互平行，中间的若干个永久磁钢(4)之间均匀分布，两端的相邻永久磁钢(4)之间的间距逐渐增大；阴极(3)位于阳极筒(5)的下面，阴极栅网(7)位于阳极筒(5)的上面，阴极栅网(7)与阳极筒(5)之间设有绝缘层(2)，阴极(3)和阴极栅网(7)相对放置；阴极栅网(7)上平行设置有引出栅网(6)，引出栅网(6)的中间设置有引出口，引出口为长方形，引出口的长度为450mm，宽度为40mm。

2.根据权利要求1所述的潘宁冷阴极离子源，其特征在于，永久磁钢(4)为圆柱状。

3.根据权利要求1所述的潘宁冷阴极离子源，其特征在于，阴极(3)包括连成一体的本体和辅助阴极，辅助阴极突出在阳极筒(5)内。

4.根据权利要求1所述的潘宁冷阴极离子源，其特征在于，底座(1)上设有用于放置气体分布装置的凹槽。

5.根据权利要求1所述的潘宁冷阴极离子源，其特征在于，阴极(3)和阳极筒(5)之间加有600V—700V的放电电压；

引出栅网(6)和阴极栅网(7)之间加有引出电压；当离子源用于清洗时，引出电压为800V—1500V；当离子源用于刻蚀时，引出电压为2000V—3000V。

6.根据权利要求1所述的潘宁冷阴极离子源，其特征在于，由进气嘴(8)通入的气体为氩气。