[发明专利]激光干涉仪接收器有效
| 申请号： | 201811012250.1 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN110873552B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 吴候;王海江;程鹏;顾俊;范纪铭 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种激光干涉仪接收器，包括光电检测单元、I/V转换单元、多通道带通滤波单元、AGC单元、相位补偿单元、比较器、弱信号抑制单元和控制单元。本发明不仅能够提高测量精度和测量效率，还能够增加测量光路的通道数量，具有高信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 干涉仪 接收器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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