[发明专利]激光干涉仪接收器有效
| 申请号: | 201811012250.1 | 申请日: | 2018-08-31 |
| 公开(公告)号: | CN110873552B | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
| 发明(设计)人: | 吴候;王海江;程鹏;顾俊;范纪铭 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光 干涉仪 接收器 | ||
1.一种激光干涉仪接收器,其特征在于,包括:
光电检测单元,用于检测激光干涉仪发出的干涉光信号并转换为模拟电流信号;
I/V转换单元,用于将所述光电检测单元转换的模拟电流信号转换为模拟电压信号;
多通道带通滤波单元,用于在可接收的频率带宽内选择较窄频率范围的子频率带宽的某一通道,以对所述I/V转换单元输出的模拟电压信号进行带通滤波;
AGC单元,用于对多通道带通滤波单元带通滤波后的模拟电压信号进行放大;
相位补偿单元,用于对多通道带通滤波单元带通滤波后的模拟电压信号造成的相位偏移进行补偿;
比较器,用于将相位补偿单元补偿后的模拟电压信号与预设值进行比较,当相位补偿单元补偿后的模拟电压信号大于预设值时,比较器输出高电平;当相位补偿单元补偿后的模拟电压信号小于预设值时,比较器输出低电平,以将比较器输出的模拟电压信号转换为数字电压信号;
弱信号抑制单元,用于根据AGC单元放大后的模拟电压信号的幅值判断是否关闭比较器的输出;
控制单元,根据比较器输出的当前频率值,定位选通多通道带通滤波单元中的某一子频率带宽的通道带通滤波单元进行带通滤波,以及根据比较器输出的当前频率值,设定相位补偿单元的相位参数,以对多通道带通滤波单元滤波后的模拟电压信号造成的相位偏移进行补偿。
2.如权利要求1所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述多通道带通滤波单元,包括切换开关和多个不同子频率带宽的多通道带通滤波器,所述切换开关用于接通多通道带通滤波器中的某一通道,关闭其余通道。
3.如权利要求2所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述切换开关为多位高速模拟开关。
4.如权利要求2所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述多通道带通滤波器包括:
第一通道带通滤波器,其子频率带宽为0.1-2MHz,中心频率为1MHz;
第二通道带通滤波器,其子频率带宽为2-4MHz,中心频率为3MHz;
第三通道带通滤波器,其子频率带宽为4-6MHz,中心频率为5MHz;
第四通道带通滤波器,其子频率带宽为6-8MHz,中心频率为7MHz;
第五通道带通滤波器,其子频率带宽为8-10MHz,中心频率为9MHz。
5.如权利要求4所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述多通道带通滤波器中的任意一通道带宽滤波器为并联的电感L和电容C构成的LC带通滤波器。
6.如权利要求2所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述多通道带通滤波单元,还包括连接在多通道带通滤波器之后的求和单元,用于对选通的某一通道带通滤波器和同时关闭的某一通道带通滤波器进行叠加并去噪。
7.如权利要求6所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述求和单元为加法器。
8.如权利要求1所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述多通道带通滤波单元为可调节带通滤波器。
9.如权利要求8所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述可调节带通滤波器为电感L1和变容二极管VD1并联构成的可调节频率带宽的LC谐振滤波器。
10.如权利要求1所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述相位补偿单元为数字电位器,所述控制单元根据比较器输出的当前频率值调节数字电位器的阻值变化,以对带通滤波后的模拟电压信号产生的相位偏移进行补偿。
11.如权利要求1所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述比较器为过零比较器,所述比较器的预设值为0。
12.如权利要求1所述的激光干涉仪接收器,其特征在于,所述弱信号抑制单元为电阻分压器,当AGC单元输出的电压信号小于(Va+Vb)/2时,关闭比较器的输出;当AGC单元输出的电压信号大于(Va+Vb)/2时,打开比较器的输出;其中(Va+Vb)/2为弱信号抑制单元的参考电压,Va为没有信号输入时,AGC单元输出的电压值,Vb最弱信号输入时,AGC单元输出的电压值。
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