[发明专利]一种晶圆结构及其测试方法有效
| 申请号： | 201811008476.4 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109285827B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 罗玉辉;陈柱元;程元红;邝智豪;黄逸生 | 申请（专利权）人： | 深亮智能技术（中山）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G01N33/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 王洪娟;冼俊鹏 |
| 地址： | 528400 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆结构及其测试方法，包括叠放的衬底和外延层；所述外延层包括多层间隔设置的金属层和分隔层；其优点在于：在一个晶圆结构上设置多层金属含量不同的金属层，通过一次测试可同时获得多层金属层的氧化数据，进而得到该种功率器件的多种金属含量氧化数据，大大减少了调试所需的时间和成本；由于在同一氧化环境中同时获得多层金属层的氧化数据，提高了氧化环境的统一性，减少了可能存在的由氧化环境设置误差导致的测试结果误差，提高了测试结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化环境 氧化数据 多层金属层 金属层 外延层 圆结构 测试 种晶 测试结果误差 多层间隔 多层金属 功率器件 晶圆结构 分隔层 衬底 叠放 调试 金属 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆结构，包括叠放的衬底(110)和外延层；其特征在于，所述外延层包括多层间隔设置的金属层(113)和分隔层(112)；所述的各层金属层(113)的金属含量不同；所述金属层(113)为含铝层，其铝含量逐层递变；所述金属层(113)的铝含量变化步长为1％；所述金属层(113)设置七层，其铝含量范围为92％‑98％，最远离衬底(110)的金属层的铝含量为92％，最靠近衬底(110)的金属层的铝含量为98％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深亮智能技术（中山）有限公司，未经深亮智能技术（中山）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811008476.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
