[发明专利]一种晶圆结构及其测试方法有效

申请号：	201811008476.4	申请日：	2018-08-31
公开（公告）号：	CN109285827B	公开（公告）日：	2019-05-31
发明（设计）人：	罗玉辉;陈柱元;程元红;邝智豪;黄逸生	申请（专利权）人：	深亮智能技术（中山）有限公司
主分类号：	H01L23/544	分类号：	H01L23/544;G01N33/00
代理公司：	广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295	代理人：	王洪娟;冼俊鹏
地址：	528400 广东省中山市***	国省代码：	广东;44
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摘要：
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【权利要求书】：

1.一种晶圆结构，包括叠放的衬底(110)和外延层；其特征在于，所述外延层包括多层间隔设置的金属层(113)和分隔层(112)；所述的各层金属层(113)的金属含量不同；所述金属层(113)为含铝层，其铝含量逐层递变；所述金属层(113)的铝含量变化步长为1％；所述金属层(113)设置七层，其铝含量范围为92％-98％，最远离衬底(110)的金属层的铝含量为92％，最靠近衬底(110)的金属层的铝含量为98％。

2.根据权利要求1所述一种晶圆结构，其特征在于，所述的各层金属层(113)的厚度不同。

3.一种测试权利要求1-2任一所述晶圆结构的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

S0、通过刻蚀露出所述晶圆结构的金属层(113)侧面；

S1、对各层金属层(113)的侧面同时进行氧化；

S2、获取各层金属层(113)的氧化深度；

S3、根据各层金属层(113)的氧化深度得到对应金属层(113)的氧化速度。

4.根据权利要求3所述一种晶圆结构的测试方法，其特征在于，步骤S0中采用干法刻蚀；步骤S1中采用湿法氧化对金属层(113)进行氧化。

5.根据权利要求4所述一种晶圆结构的测试方法，其特征在于，所述湿法氧化包括以下步骤：

S11、通入氮气；

S13、通入氧气和氢气，点燃氢气，对各层金属层(113)进行氧化。

6.根据权利要求5所述一种晶圆结构的测试方法，其特征在于，所述步骤S11中氮气通入前先进行90℃水浴；所述氢气与氧气的摩尔比小于2:1。

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