[发明专利]一种晶圆流片表面缺陷检测装置

摘要

本发明涉及晶圆流片检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片表面缺陷检测装置，其可以提高晶圆流片在检测台上的稳定性，提高检测结果，降低使用局限性；并且提高镭射光束的稳定性，提高镭射光束在晶圆流片顶端的照射范围，方便更换检测位置，降低使用局限性，减少人为因素；包括检测台和镭射光发射器；包括固定轴、锥齿盘、固定圆板、左支撑轴、右支撑轴、左螺纹管、右螺纹管、左螺纹杆、右螺纹杆、左托板、右托板、左滑杆、右滑杆、左带动齿轮、右带动齿轮、左主动齿轮、右主动齿轮、左锥齿轮和右锥齿轮；还包括支撑板、固定板、移动块、左挡板、右挡板、底板、调节丝杠、前滑块、后滑块和第一手轮。

主权项

1.一种晶圆流片表面缺陷检测装置，包括检测台（1）和镭射光发射器（2）；其特征在于，包括固定轴（3）、锥齿盘（4）、固定圆板（5）、左支撑轴（6）、右支撑轴、左螺纹管（7）、右螺纹管、左螺纹杆（8）、右螺纹杆、左托板（9）、右托板、左滑杆（10）、右滑杆、左带动齿轮（11）、右带动齿轮、左主动齿轮（12）、右主动齿轮、左锥齿轮（13）和右锥齿轮，所述固定轴（3）的底端与所述检测台（1）的顶端连接，并且所述锥齿盘（4）的内部上侧和下侧分别固定设置有上滚珠轴承和下滚珠轴承，固定轴（3）的顶端自锥齿盘（4）的底端依次穿过下滚珠轴承和上滚珠轴承内部并伸出至锥齿盘（4）的顶端外界，所述固定圆板（5）的底端与所述固定轴（3）的顶端同心连接，并且所述固定圆板（5）的左端和右端分别设置有左调节槽和右调节槽，并且左调节槽和右调节槽内部分别设置有左滚珠轴承和右滚珠轴承，所述左支撑轴（6）的右端插入并固定安装至左滚珠轴承内部，并且所述右支撑轴的左端插入并固定安装至右滚珠轴承内部，所述左锥齿轮（13）固定套装在所述左支撑轴（6）的外侧中部，并且所述右锥齿轮固定套装在所述右支撑轴的外侧中部，左锥齿轮（13）与右锥齿轮均与所述锥齿盘（4）啮合，所述左主动齿轮（12）的右端与所述左支撑轴（6）的左端同心连接，并且所述右主动齿轮的左端与所述右支撑轴的右端同心连接，所述固定圆板（5）顶端的左侧和右侧分别设置有左第一轴承座和右第一轴承座，并且左第一轴承座和右第一轴承座内部分别设置左调节滚珠轴承和右调节滚珠轴承，所述左螺纹管（7）的右端自左第一轴承座的左端穿过左调节滚珠轴承内部并伸出至左第一轴承座的右端外界，并且所述左螺纹杆（8）的左端插入并螺装至左螺纹管（7）的右端内部，所述托板的左端与左螺纹杆（8）的右端连接，所述左带动齿轮（11）的右端与左螺纹管（7）的左端同心连接，并且左带动齿轮（11）与左主动齿轮（12）啮合，所述右螺纹管的左端自右第一轴承座的右端穿过右调节滚珠轴承内部并伸出至右第一轴承座的左端外界，所述右螺纹杆的右端插入并螺装至右螺纹管的左端内部，所述右托板的右端与右螺纹杆的左端连接，所述固定圆板（5）顶端的左侧和右侧分别横向设置有左滑槽和右滑槽，并且左滑杆（10）和右滑杆的顶端分别与所述左托板（9）和右托板的底端连接，左滑杆（10）和右滑杆的底端分别可滑动设置在左滑槽和右滑槽内部；还包括支撑板（14）、固定板（15）、移动块（16）、左挡板（17）、右挡板、底板（18）、调节丝杠（19）、前滑块（20）、后滑块和第一手轮（21），所述支撑板（14）的底端与所述检测台（1）的顶端左侧连接，并且所述固定板（15）的左端与所述支撑板（14）的右端上侧连接，所述左挡板（17）和右挡板的顶端分别与所述固定板（15）底端的左侧和右侧连接，并且左挡板（17）的右端设置有调节槽，所述调节槽内部设置有上调节滚珠在轴承，所述调节丝杠（19）的左端插入并固定安装至调节滚珠轴承内部，所述移动块（16）的顶端与所述固定板（15）的底端可滑动接触，并且移动块（16）的内部横向设置有左右贯穿的螺纹通孔，所述调节丝杠（19）的右端自移动块（16）的左端螺装穿过螺纹通孔内部并旋出至移动块（16）的右端外界，并且调节丝杠（19）的右端自右挡板的左端横向穿过右挡板的内部并伸出至右挡板的右端外界，所述第一手轮（21）的左端上侧与所述调节丝杠（19）的右端连接，所述底板（18）的左端与左挡板（17）的右端下侧连接，并且底板（18）的右端与右挡板的左端下侧连接，移动块（16）的底端与底板（18）的顶端可滑动接触，底板（18）顶端的前侧和后端分别设置有上下贯穿左右方向上的条形通孔，并且所述前滑块（20）和后滑块的顶端均自底板（18）的底端分别可滑动穿过两组条形通孔内部并伸出至底板（18）的顶端外界，并且前滑块（20）和后滑块的顶端分别与移动块（16）底端的左侧和后侧连接，前滑块（20）和后滑块分别与两组条形通孔内部滑动配合，前滑块（20）和后滑块的底端分别与所述镭射光发射器（2）顶端的前侧和后侧连接。