[发明专利]一种微电子器件除尘装置

摘要

本发明公开了一种微电子器件除尘装置，包括矩形盒，所述矩形盒的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒，所述锥形盒的内壁上焊接有空心圆柱，所述空心圆柱的两侧分别固定安装有离子发生器和吸尘器，所述锥形盒的内壁上焊接有圆形板，所述矩形盒的两侧内壁上焊接有同一个横板。本发明结构简单，离子发生器可以产生离子风并通过离子风枪吹向微电子器件的表面，毛刷可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉，同时吸尘器通过吸尘头和吸尘盒将灰尘吸走，使得离子风枪可以集中且近距离将离子风吹到微电子器件的表面上，除静电的效果好，且吸尘头可以近距离的吸走毛刷和离子风枪从微电子器件清除的灰尘，可以及时将灰尘吸走，避免二次污染，使用方便。

主权项

1.一种微电子器件除尘装置，包括矩形盒(2)，其特征在于，所述矩形盒(2)的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒(9)，所述锥形盒(9)的内壁上焊接有空心圆柱(21)，所述空心圆柱(21)的两侧分别固定安装有离子发生器(10)和吸尘器(11)，所述锥形盒(9)的内壁上焊接有圆形板(8)，所述矩形盒(2)的两侧内壁上焊接有同一个横板(5)，所述横板(5)的一侧滑动连接有移动板(6)，所述矩形盒(2)的两侧内壁上均开设有通孔，所述通孔位于横板(5)的一侧，所述通孔的内壁上滑动连接有弹性绳(3)，所述弹性绳(3)的一端贯穿通孔并延伸至矩形盒(2)内，两个弹性绳(3)相互靠近的一端分别与移动板(6)的两侧相连接，所述移动板(6)的顶部和圆形板(8)的底部焊接有同一个拉簧(14)，所述移动板(6)的两侧分别固定安装有分流盒(15)和吸尘盒(19)，所述分流盒(15)内固定安装有风扇，所述分流盒(15)和吸尘盒(19)的底部分别固定安装有多个对称设置的离子风枪(16)和吸尘头(18)，所述离子风枪(16)和吸尘头(18)分别与分流盒(15)和吸尘盒(19)相连通，所述分流盒(15)和吸尘盒(19)的顶部分别固定连接有第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)，所述第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)分别与分流盒(15)和吸尘盒(19)相连通，所述第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)的顶端均贯穿圆形板(8)并延伸至圆形板(8)的上方，所述第一弹簧管(7)和第二弹簧管(13)的顶端分别固定连接有离子风管(24)和吸尘管(12)，所述离子风管(24)和吸尘管(12)的顶端分别贯穿空心圆柱(21)的两侧内壁并分别与离子发生器(10)的出风口和吸尘器(11)的进风口螺纹连接。