[发明专利]一种微电子器件除尘装置

说明书

本发明公开了一种微电子器件除尘装置，包括矩形盒，所述矩形盒的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒，所述锥形盒的内壁上焊接有空心圆柱，所述空心圆柱的两侧分别固定安装有离子发生器和吸尘器，所述锥形盒的内壁上焊接有圆形板，所述矩形盒的两侧内壁上焊接有同一个横板。本发明结构简单，离子发生器可以产生离子风并通过离子风枪吹向微电子器件的表面，毛刷可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉，同时吸尘器通过吸尘头和吸尘盒将灰尘吸走，使得离子风枪可以集中且近距离将离子风吹到微电子器件的表面上，除静电的效果好，且吸尘头可以近距离的吸走毛刷和离子风枪从微电子器件清除的灰尘，可以及时将灰尘吸走，避免二次污染，使用方便。

技术领域

本发明涉及微电子除尘技术领域，尤其涉及一种微电子器件除尘装置。

背景技术

公告号为CN206443651U的发明公开了一种微电子器件除尘装置，包括支撑圆板，支撑圆板的外周设有环形套，环形套的套体为中空结构，环形套的套体内侧开设数个通气孔，环形套连接导管的一端，导管的另一端连接吸尘器；支撑圆板的中间处安装离子风枪，离子风枪连接离子发生器。本发明中，通过环形套扣在芯片上，形成一个较为封闭的空间，灰尘由外周的通气孔吸走，避免灰尘飘落，提高除尘效率。但是该微电子器件除尘装置的离子风是由风扇从顶部吹向微电子器件的，距离较远，会造成吹到微电子器件表面的离子风比较分散，导致除静电的效果不好，且吸尘口距离微电子器件的中间区域较远，不能及时将灰尘吸走，会造成二次污染，所以我们提出一种微电子器件除尘装置，用以解决上述所提到的问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种微电子器件除尘装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种微电子器件除尘装置，包括矩形盒，所述矩形盒的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒，所述锥形盒的内壁上焊接有空心圆柱，所述空心圆柱的两侧分别固定安装有离子发生器和吸尘器，所述锥形盒的内壁上焊接有圆形板，所述矩形盒的两侧内壁上焊接有同一个横板，所述横板的一侧滑动连接有移动板，所述矩形盒的两侧内壁上均开设有通孔，所述通孔位于横板的一侧，所述通孔的内壁上滑动连接有弹性绳，所述弹性绳的一端贯穿通孔并延伸至矩形盒内，两个弹性绳相互靠近的一端分别与移动板的两侧相连接，所述移动板的顶部和圆形板的底部焊接有同一个拉簧，所述移动板的两侧分别固定安装有分流盒和吸尘盒，所述分流盒内固定安装有风扇，所述分流盒和吸尘盒的底部分别固定安装有多个对称设置的离子风枪和吸尘头，所述离子风枪和吸尘头分别与分流盒和吸尘盒相连通，所述分流盒和吸尘盒的顶部分别固定连接有第一弹簧管和第二弹簧管，所述第一弹簧管和第二弹簧管分别与分流盒和吸尘盒相连通，所述第一弹簧管和第二弹簧管的顶端均贯穿圆形板并延伸至圆形板的上方，所述第一弹簧管和第二弹簧管的顶端分别固定连接有离子风管和吸尘管，所述离子风管和吸尘管的顶端分别贯穿空心圆柱的两侧内壁并分别与离子发生器的出风口和吸尘器的进风口螺纹连接。

优选的，所述矩形盒的底部固定安装有密封条，所述密封条为软性材质。

优选的，所述横板的一侧焊接有导轨，所述移动板的一侧焊接有滑块，所述滑块与导轨滑动连接。

优选的，两个弹性绳相互远离的一端均固定连接有拉环，所述拉环与矩形盒相接触。

优选的，所述移动板的底部固定安装有刷盘，所述刷盘的底部固定安装有毛刷。

优选的，所述矩形盒的一侧开设有矩形孔，所述矩形孔的内壁上固定安装有透明窗。