[发明专利]一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法及装置

摘要

本发明公开了一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法及装置，属于激光材料加工领域，该方法对激光光束聚焦之前先对其进行空间啁啾，通过改变光束纵横比控制聚焦光斑倾斜的角度，通过控制光束空间啁啾的方向改变聚焦光斑倾斜的方向。并公开了一种实现该方法的装置。本发明通过改变光束的空间啁啾方向和光束纵横比对激光聚焦光斑的两个空间方向进行操控，由此解决无法精确控制焦点光场分布的技术问题，在激光精微加工领域有着广阔的应用前景。

主权项

1.一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法，激光经物镜聚焦的聚焦光斑具有空间方向，所述空间方向包括聚焦光斑倾斜方向θ和倾斜角度其特征在于，对激光光束聚焦之前先对其进行空间啁啾，所述空间啁啾是指将不同光谱分量在空间进行分离，所述空间啁啾的参数用空间啁啾的方向α与光束纵横比β表征；所述光束纵横比是指空间啁啾后的光束宽度与空间啁啾前的光束宽度之比；具体地，通过仿真与实验得到光束纵横比β与聚焦光斑倾斜角度间的映射关系g；通过仿真与实验得到光束空间啁啾的方向α与聚焦光斑倾斜方向θ间的映射关系f；取定聚焦光斑的空间方向取值组合根据所述映射关系g和所述映射关系f确定空间啁啾的参数(α，β)的取值，采用该(α，β)的取值对激光光束进行空间啁啾后聚焦，得到空间方向为取定值的聚焦光斑，实现对聚焦光斑空间方向的精确控制。