[发明专利]一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法及装置

说明书

本发明公开了一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法及装置，属于激光材料加工领域，该方法对激光光束聚焦之前先对其进行空间啁啾，通过改变光束纵横比控制聚焦光斑倾斜的角度，通过控制光束空间啁啾的方向改变聚焦光斑倾斜的方向。并公开了一种实现该方法的装置。本发明通过改变光束的空间啁啾方向和光束纵横比对激光聚焦光斑的两个空间方向进行操控，由此解决无法精确控制焦点光场分布的技术问题，在激光精微加工领域有着广阔的应用前景。

技术领域

本发明属于激光材料加工领域，涉及使用空时同步聚焦的原理改变激光聚焦光斑空间方向的方法及装置，更具体地，涉及一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法及装置。

背景技术

在过去的几十年里，利用飞秒激光在透明材料中进行三维加工已经发展成激光材料加工技术领域中的一个重要的分支。该方法不仅能加工各种光学器件，例如光波导、偏振光学元件等，还可用于制造微流体系统和光流控系统等。激光与透明材料的相互作用与材料的对光子的非线性吸收特性有关，激光与材料的作用区域受焦点处光强分布影响。

近年来，空时同步聚焦(SSTF)方法被用在飞秒激光对透明材料的加工过程中，它可以减小焦点光斑的轴向尺寸，因此主要用于提高激光加工的轴向分辨率。例如，中科院上海光学精密机械研究所的何飞等通过SSTF方法控制焦点的轴向长度，制造出了横截面为圆形的微流体通道。

目前，传统的激光加工方法都只能实现沿激光入射方向对材料进行加工，限制了激光加工技术应用的灵活性。因此，为了提高3D加工的精度，制造复杂的结构，需要精确地控制焦点的光场分布。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法及装置，其目的在于，通过改变光束的空间啁啾方向和光束纵横比对激光聚焦光斑的两个空间方向进行操控，由此解决无法精确控制焦点光场分布的技术问题。

为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法：

一种改变激光聚焦光斑空间方向的方法，激光经物镜聚焦的聚焦光斑具有空间方向，所述空间方向包括聚焦光斑倾斜方向θ和倾斜角度其特征在于，

对激光光束聚焦之前先对其进行空间啁啾，所述空间啁啾是指将不同光谱分量在空间进行分离，所述空间啁啾的参数用空间啁啾的方向α与光束纵横比β表征；所述光束纵横比是指空间啁啾后的光束宽度与空间啁啾前的光束宽度之比；具体地，

通过仿真与实验得到光束纵横比β与聚焦光斑倾斜角度间的映射关系g；

通过仿真与实验得到光束空间啁啾的方向α与聚焦光斑倾斜方向θ间的映射关系f；

取定聚焦光斑的空间方向取值组合(θ，)，根据所述映射关系g和所述映射关系f确定空间啁啾的参数(α，β)的取值，采用该(α，β)的取值对激光光束进行空间啁啾后聚焦，得到空间方向为取定值的聚焦光斑，实现对聚焦光斑空间方向的精确控制。

优选地，空间啁啾时采用圆形光栅，当圆形光束以垂直入射角通过光栅时，光束产生色散，不同波长的光以不同的折射角射出，在出射光束横截面上，不同波长的光分布在不同半径的圆环上。

优选地，通过改变所述圆形光栅的参数或切换不同的圆形光栅，改变光束的折射角度，从而控制光束的纵横比。

优选地，空间啁啾时采用可旋转的狭缝选择所需空间啁啾方向的光束通过狭缝，阻挡不需要的光束，从而控制光束空间啁啾的方向。

按照本发明的另一方面，提供了一种用于实现上述方法的装置，包括依次同轴设置的圆形光栅、第一透镜、可旋转的狭缝组件以及第二透镜，其中，