[发明专利]一种三氯化铁蚀刻液的再生与循环方法

摘要

一种三氯化铁蚀刻液的再生与循环使用方法，本发明提出了“隔膜‑一次通过流程”技术。电解槽用隔膜分为阴极室和阳极室，全部废液在阳极室将Fe2+氧化成Fe3+，废液全部再生循环利用。阴极室溶液采用导电电解质，并利用隔膜，电解质中的阴离子可与阳极溶液交换，达到电荷平衡和物资平衡，不发生Fe3+还原为Fe2+的氧化逆过程，因此阴极液不需二次电解和后续处理，清洁低耗，极大提高了再生效率，同时结合化学除杂方法，进一步降低生产成本，可进行在线或离线再生，工艺流程采用自动化控制，达到三氯化铁蚀刻液循环利用的实际应用要求。