[发明专利]微机电反射器系统有效
申请号: | 201810966381.7 | 申请日: | 2018-08-23 |
公开(公告)号: | CN109425981B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 阿尔蒂·托尔凯利;马蒂·柳库 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 唐京桥;刘烨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种紧凑并且稳健的微机电反射器系统,其包括支承件、反射器、包括边缘点的反射器的外围边缘以及包括压电致动器并且从支承件悬挂反射器的悬挂件。两对悬挂件从两个固定点被固定至支承件,使得在每对悬挂件中,成对悬挂件的第一端被固定至该对悬挂件共同的固定点。第一旋转轴与穿过两个固定点的线对准,并且将反射器分成第一反射器部分和第二反射器部分。在每对悬挂件中,一个悬挂件的第二端被耦接至第一反射器部分,并且另一悬挂件的第二端被耦接至第二反射器部分。 | ||
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【主权项】:
1.一种微机电反射器系统,包括:支承件;反射器,所述反射器的外围边缘包括边缘点;以及悬挂件,所述悬挂件包括压电致动器并且从所述支承件悬挂所述反射器;其特征在于,两对悬挂件从两个固定点被固定至所述支承件,使得在每对悬挂件中,成对悬挂件的第一端被固定至该对悬挂件共用的固定点;第一旋转轴与穿过所述两个固定点的线对准,并且将所述反射器分成第一反射器部分和第二反射器部分;并且在每对悬挂件中,一个悬挂件的第二端被耦接至所述第一反射器部分,并且另一悬挂件的第二端被耦接至所述第二反射器部分。
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