[发明专利]微机电反射器系统

权利要求书

1.一种微机电反射器系统，包括：

支承件；

反射器，所述反射器的外围边缘包括边缘点；

悬挂件，所述悬挂件包括弯曲压电致动器并且从所述支承件悬挂所述反射器；以及

控制装置，其中，

两对悬挂件从两个固定点被固定至所述支承件，使得在每对悬挂件中，成对悬挂件的第一端被固定至该对悬挂件共用的固定点；

第一旋转轴与穿过所述两个固定点的线对准，并且将所述反射器分成第一反射器部分和第二反射器部分；

在每对悬挂件中，一个悬挂件的第二端被耦接至所述第一反射器部分，并且另一悬挂件的第二端被耦接至所述第二反射器部分；

所述控制装置被耦接至所述悬挂件的弯曲压电致动器；

所述控制装置被配置成向所述弯曲压电致动器提供控制信号，以便按照以第一谐振频率围绕所述第一旋转轴的第一旋转振荡并且以第二谐振频率围绕第二旋转轴的第二旋转振荡的方式同时驱动所述反射器，其中，所述第一旋转轴和所述第二旋转轴是正交的，所述反射器的最终位置是所述第一旋转振荡和所述第二旋转振荡的叠加，并且所述第一谐振频率和所述第二谐振频率是不同的而且是共同的数值的整数倍；

所述微机电反射器系统包括调谐元件，所述调谐元件包括附加可动电极和固定至所述支承件的静止电极；

所述附加可动电极被固定至所述反射器，以随着所述反射器偏转而移动，或者所述附加可动电极被固定至所述悬挂件以随着所述悬挂件的偏转而移动；

所述附加可动电极被电容性耦接至所述静止电极；以及

所述控制装置被配置成提供在所述附加可动电极与所述静止电极之间的受控电压。

2.根据权利要求1所述的微机电反射器系统，其特征在于，

所述两对悬挂件中的第一对悬挂件包括第一悬挂件和第二悬挂件，所述第一悬挂件的第一端和所述第二悬挂件的第一端从第一固定点被固定至所述支承件；

所述两对悬挂件中的第二对悬挂件包括第三悬挂件和第四悬挂件，所述第三悬挂件的第一端和所述第四悬挂件的第一端从第二固定点被固定至所述支承件；并且

所述第一旋转轴与穿过所述第一固定点和所述第二固定点的线对准。

3.根据权利要求2所述的微机电反射器系统，其特征在于，

所述边缘点包括第一边缘点和第二边缘点，每个边缘点与所述第一旋转轴重合；

所述第一固定点与所述第一边缘点相邻并且分开一定间隙；并且

所述第二固定点与所述第二边缘点相邻并且分开一定间隙。

4.根据权利要求2所述的微机电反射器系统，其特征在于，

在所述第一反射器部分的边缘中的第三边缘点和第四边缘点；以及

在所述第二反射器部分的边缘中的第五边缘点和第六边缘点，

所述第三边缘点和所述第四边缘点被分开非零距离；

所述第五边缘点和所述第六边缘点被分开非零距离；

所述第一悬挂件的第二端被耦接至所述第三边缘点；

所述第二悬挂件的第二端被耦接至所述第五边缘点；

所述第三悬挂件的第二端被耦接至所述第六边缘点；并且

所述第四悬挂件的第二端被耦接至所述第四边缘点。

5.根据权利要求4所述的微机电反射器系统，其特征在于，

所述第二旋转轴平行于在由所述第四边缘点和所述第六边缘点中的至少一个、所述第三边缘点和所述第五边缘点确定的平面上的穿过所述第三边缘点和所述第五边缘点的线。

6.根据前述权利要求中任一项所述的微机电反射器系统，其特征在于，

在非致动状态下，平面反射器的外表面与第一平面对准；

平行于所述第一平面的法线的方向是平面外方向；并且

至少一个悬挂件的第二端与所述悬挂件所耦接至的边缘点之间的耦接包括第一耦接弹簧，所述第一耦接弹簧将该悬挂件的第二端的偏转传递到所述平面外方向上的所述边缘点，并且灵活地响应在平行于所述第一平面的至少一个平面内方向上的该悬挂件的第二端的偏转。