[发明专利]一种晶圆及芯片

摘要

本发明提供一种晶圆及芯片，通过在堆叠层中设置不同方向的栅线缝隙，实现应力平衡。由于栅线缝隙形成在堆叠层中，且在不同方向上形成，可以在不同方向上释放堆叠层中的应力，从而使得晶圆或芯片在不同方向上的应力得到平衡，降低晶圆制造过程中出现晶圆翘曲的缺陷，进而提高晶圆良率。

主权项

1.一种晶圆，其特征在于，所述晶圆包括若干子区域，所述子区域中阵列排布有多个曝光场区，每个所述曝光场区的芯片区中形成有存储区，所述存储区包括：位于衬底上的堆叠层，所述堆叠层包括交替堆叠的栅极层和绝缘层；栅线缝隙，穿过所述堆叠层以将所述堆叠层分割为若干个部分；至少其中之一所述子区域中的存储区的栅线缝隙沿第一方向延伸；至少其中另一所述子区域中的存储区的栅线缝隙沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相交。