[发明专利]一种紫外正性光刻胶

摘要

本发明提供了一种适合于在UV光源下曝光的紫外正性光刻胶，该光刻胶是由质量百分比为1‑10%的拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂、10‑50%的线性酚醛树脂、0.2‑1%的增感剂、0.1‑1%增韧剂、0.4‑1%的附着力促进剂、流平剂0.2‑1%和余量溶剂组成；其中拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂是由1,1‑对羟基苯基‑［1‑联苯基‑4‑异丙基‑（1‑邻甲基‑4‑苯酚）］丙烷和2‑重氮‑1‑萘醌‑5‑磺酰氯按1:2的投料量通过取代反应或酯化反应得到；线性酚醛树脂为线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的混合物，线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的重量比为2‑8:8‑2。本发明的紫外正性光刻胶，比通常的重氮萘醌磺酸酯‑酚醛树脂体系光刻胶拥有更高的分辨率、光敏性和尺寸还原性。

主权项

1.一种紫外正性光刻胶，其特征在于：所述紫外正性光刻胶是由质量百分比为1‑10%的拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂、10‑50%的线性酚醛树脂、0.2‑1%的增感剂、0.1‑1%增韧剂、0.4‑1%的附着力促进剂、流平剂0.2‑1%和余量溶剂组成；其中拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂是由1,1‑对羟基苯基‑［1‑联苯基‑4‑异丙基‑（1‑邻甲基‑4‑苯酚）］丙烷和2‑重氮‑1‑萘醌‑5‑磺酰氯按1:2的投料量通过取代反应或酯化反应得到的符合化学通式I的至少一种化合物：           (I)式中至少一个取代基R符合化学通式II，剩下的取代基R为H或符合化学通式II ；     (II)所述线性酚醛树脂为线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的混合物，线性酚醛树脂一为叔丁基‑酚醛树脂或间甲基‑酚醛树脂，线性酚醛树脂二为对甲基‑酚醛树脂或邻甲基‑酚醛树脂，线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的重量比为2‑8:8‑2。