[发明专利]一种紫外正性光刻胶

权利要求书

1.一种紫外正性光刻胶，其特征在于：所述紫外正性光刻胶是由质量百分比为1-10%的拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂、10-50%的线性酚醛树脂、0.2-1%的增感剂、0.1-1%增韧剂、0.4-1%的附着力促进剂、流平剂0.2-1%和余量溶剂组成；其中拥有特殊结构的重氮萘醌磺酸酯类光敏剂是由1,1-对羟基苯基-［1-联苯基-4-异丙基-（1-邻甲基-4-苯酚）］丙烷和2-重氮-1-萘醌-5-磺酰氯按1:2的投料量通过取代反应或酯化反应得到的符合化学通式I的至少一种化合物：

(I)

式中至少一个取代基R符合化学通式II，剩下的取代基R为H或符合化学通式II ；

(II)

所述线性酚醛树脂为线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的混合物，线性酚醛树脂一为叔丁基-酚醛树脂或间甲基-酚醛树脂，线性酚醛树脂二为对甲基-酚醛树脂或邻甲基-酚醛树脂，线性酚醛树脂一和线性酚醛树脂二的重量比为2-8:8-2；所述增韧剂为羧基丁腈橡胶、聚醚砜、聚苯醚酮中的一种或多种；所述紫外正性光刻胶适合使用波长为365nm的I线进行曝光。

2.根据权利要求1所述的紫外正性光刻胶，其特征在于：所述增感剂为二苯甲酮、4-羟基二苯甲酮、安息香二甲醚中的一种或多种。

3.根据权利要求1或2所述的紫外正性光刻胶，其特征在于：所述附着力促进剂为六甲基乙硅胺烷、γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三(β-甲氧乙氧基)硅烷中的一种或多种。

4.根据权利要求3所述的紫外正性光刻胶，其特征在于：所述流平剂为BYK-300、BYK-325、BYK-330、BYK-333、BYK-354中的一种或多种。

5.根据权利要求4所述的紫外正性光刻胶，其特征在于：所述溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、丙二醇单甲醚、环己酮、四氢呋喃、二甲基乙酰胺中的一种或多种。