[发明专利]研磨轮、研磨装置及研磨方法有效
申请号: | 201810948369.3 | 申请日: | 2018-08-20 |
公开(公告)号: | CN108818297B | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 张燕斌;李海博;邓晓聪;卫宏毅;徐天宇;边婉丽;刘锋 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/11 | 分类号: | B24B37/11;B24B37/34 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 李莎 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种研磨装置,包括至少两个研磨轮,所述至少两个研磨轮的目数不同,所述目数是指研磨轮表面的单位面积内的研磨颗粒的数目;目数不同的所述至少两个研磨轮,用于依目数从小到大的顺序对待研磨物进行研磨;其中,所述研磨轮包括用于容纳并研磨待研磨物的研磨槽;所述研磨槽设置在所述研磨轮的外周面,且在所述研磨轮轴线所处平面内,所述研磨槽的截面形状为等腰梯形,且所述研磨槽的开口角度为30°~60°。本发明还公开了一种研磨轮和研磨方法。本发明提出的研磨轮、研磨装置及研磨方法,能够达到较好的研磨效果。 | ||
搜索关键词: | 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种研磨装置,其特征在于,包括至少两个研磨轮,所述至少两个研磨轮的目数不同,所述目数是指研磨轮表面的单位面积内的研磨颗粒的数目;目数不同的所述至少两个研磨轮,用于依目数从小到大的顺序对待研磨物进行研磨;其中,所述研磨轮包括用于容纳并研磨待研磨物的研磨槽;所述研磨槽设置在所述研磨轮的外周面,且在所述研磨轮轴线所处平面内,所述研磨槽的截面形状为等腰梯形,且所述研磨槽的开口角度为30°~60°。
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