[发明专利]一种一维快速控制反射镜

摘要

本发明公开了一种一维快速控制反射镜，包括反射镜片、外框架和执行器机构，外框架为一体成型结构，包括基座和两个镜架，外框架还包括杠杆机构，基座具有纵向侧板和两块横向侧板，两块横向侧板的一端各自通过一根第一柔性铰链与杠杆机构连接，镜架通过第二柔性铰链与横向侧板连接，通过第一柔性连接件与杠杆机构的位移放大输出端连接，执行器机构一端与纵向侧板固定连接，另一端与杠杆机构的位移输入板配合；反射镜还包括电容式微位移传感器，电容式微位移传感器包括反映反射镜片转动偏摆的动极板和位于反射镜片下方的构成差动传感的第一、第二定极板组件。该反射镜能提高抗振动和抗冲击能力，同时整体高度小，偏摆角度大。

主权项

1.一种一维快速控制反射镜，包括反射镜片（1）、外框架和执行器机构（5），所述外框架为一体成型结构，包括基座和两个镜架（7），反射镜片（1）的端部固定连接在镜架（7）上；其特征在于：所述外框架还包括杠杆机构（9），所述基座具有纵向侧板（10）和两块横向侧板（13），两块横向侧板（13）的一端分别与纵向侧板（10）的端部连接，两块横向侧板（13）的另一端各自通过一根作为支点的第一柔性铰链（15）与杠杆机构（9）连接，两个镜架（7）分别位于两块横向侧板和杠杆机构上方，镜架（7）通过第二柔性铰链（12）与横向侧板（13）连接，通过第一柔性连接件（14）与杠杆机构（9）的位移放大输出端连接，所述执行器机构（5）位于外框架内，且一端与纵向侧板（10）固定连接，另一端与杠杆机构（9）的位移输入板配合，镜架（7）与反射镜片（1）能绕旋转轴线转动偏摆；所述反射镜还包括电容式微位移传感器，电容式微位移传感器包括反映反射镜片（1）转动偏摆的动极板和位于反射镜片（1）下方的第一、第二定极板组件（2、3），第一定极板组件（2）与第二定极板组件（3）相互平行的固定在传感器支架（4）上，且分别位于所述旋转轴线下方两侧，第一定极板组件（2）的第一定极板、第二定极板组件（3）的第二定极板都与所述动极板正对，传感器支架（4）固定连接在基座内。