[发明专利]一种一维快速控制反射镜

权利要求书

1.一种一维快速控制反射镜，包括反射镜片（1）、外框架和执行器机构（5），所述外框架为一体成型结构，包括基座和两个镜架（7），反射镜片（1）的端部固定连接在镜架（7）上；其特征在于：

所述外框架还包括杠杆机构（9），所述基座具有纵向侧板（10）和两块横向侧板（13），两块横向侧板（13）的一端分别与纵向侧板（10）的端部连接，两块横向侧板（13）的另一端各自通过一根作为支点的第一柔性铰链（15）与杠杆机构（9）连接，两个镜架（7）分别位于两块横向侧板和杠杆机构上方，镜架（7）通过第二柔性铰链（12）与横向侧板（13）连接，通过第一柔性连接件（14）与杠杆机构（9）的位移放大输出端连接，所述执行器机构（5）位于外框架内，执行器机构（5）包括矩形框（17）、两个纵向连接块（16）和压装在矩形框内的压电陶瓷叠堆执行器（19），矩形框（17）与两个纵向连接块（16）为一体成型结构，矩形框的两横梁上具有沿压电陶瓷叠堆执行器的伸缩方向延伸的波纹型结构，矩形框的两纵梁各自通过一根第三柔性铰链（18）与两个纵向连接块连接，其中一个纵向连接块（16）与纵向侧板（10）固定连接，另一个纵向连接块（16）与杠杆机构（9）的位移输入板抵靠，镜架（7）与反射镜片（1）能绕旋转轴线转动偏摆；

所述反射镜还包括电容式微位移传感器，电容式微位移传感器包括反映反射镜片（1）转动偏摆的动极板和位于反射镜片（1）下方的第一、第二定极板组件（2、3），第一定极板组件（2）与第二定极板组件（3）相互平行的固定在传感器支架（4）上，且分别位于所述旋转轴线下方两侧，第一定极板组件（2）的第一定极板、第二定极板组件（3）的第二定极板都与所述动极板正对，传感器支架（4）固定连接在基座内。

2.根据权利要求1所述的一维快速控制反射镜，其特征在于：所述反射镜片（1）为导电体，反射镜片（1）直接构成所述动极板。

3.根据权利要求1所述的一维快速控制反射镜，其特征在于：所述反射镜片（1）为非导电体，所述动极板为覆盖在反射镜片（1）的非反光面上的导电膜或者导电极板。

4.根据权利要求1或2或3所述的一维快速控制反射镜，其特征在于：所述杠杆机构（9）的位移输入板上设置有预压紧机构（8），预压紧机构（8）的预压紧方向与所述执行器机构（5）的伸缩方向平行。

5.根据权利要求4所述的一维快速控制反射镜，其特征在于：所述预压紧机构（8）有两个，两个预压紧机构（8）分别设置在所述杠杆机构（9）的位移输入板的两端部，每个预压紧机构（8）由碟形弹簧与螺钉构成，碟形弹簧穿套在螺钉上，螺钉穿过杠杆机构（9）的位移输入板的端部上的通孔，与横向侧板（13）上的螺纹孔螺接，碟形弹簧处于压缩状态且一端与螺钉的头部抵靠、另一端与杠杆机构（9）的位移输入板的端部抵靠。

6.根据权利要求5所述的一维快速控制反射镜，其特征在于：所述矩形框（17）有多个，多个矩形框并排位于两个纵向连接块（16）之间，且每个矩形框的两纵梁各自通过一根第三柔性铰链（18）与两个纵向连接块连接，每个矩形框内都压装有压电陶瓷叠堆执行器（19）。

7.根据权利要求5所述的一维快速控制反射镜，其特征在于：与所述电容式微位移传感器电连接的前置放大模块（6）安装在外框架的底部。

8.根据权利要求7所述的一维快速控制反射镜，其特征在于：所述纵向侧板（10）上安装有电连接器（11），所述电连接器（11）与所述前置放大模块（6）、压电陶瓷叠堆执行器（19）电连接。