[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法、显示面板的制作方法有效
| 申请号： | 201810907928.6 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN109103263B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张伟;李民;徐苗;陶洪;邹建华;王磊 | 申请（专利权）人： | 广州新视界光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/24;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 510700 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板的制作方法。该薄膜晶体管包括：衬底基板；形成在所述衬底基板上的栅极层、栅极绝缘层、有源层和源漏极层，所述有源层包括第一区域，所述第一区域为未被所述栅极层以及所述源漏极层覆盖；形成在所述有源层背离所述衬底基板一侧的钝化层，且所述钝化层与所述有源层的第一区域直接接触；其中，所述有源层和所述钝化层均掺杂有稀土元素。本发明提供的薄膜晶体管可以提高薄膜晶体管抗水氧能力。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底基板；形成在所述衬底基板上的栅极层、栅极绝缘层、有源层和源漏极层，所述有源层包括第一区域，所述第一区域为未被所述栅极层以及所述源漏极层覆盖；形成在所述有源层背离所述衬底基板一侧的钝化层，且所述钝化层与所述有源层的第一区域直接接触；其中，所述有源层和所述钝化层均掺杂有稀土元素。
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