[发明专利]驻极体麦克风及其制造方法、显示装置

摘要

本申请公开了一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置，属于薄膜技术领域。驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，第一衬底基板朝向第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且驻极体薄膜与第一衬底基板之间形成第一空腔；第二衬底基板朝向第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且背电极薄膜与开关晶体管中的栅极连接，驻极体薄膜与背电极薄膜之间形成第二空腔。本申请解决了相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置的问题，且提供了一种能够适用于轻薄型显示装置的驻极体麦克风，本申请用于驻极体麦克风。

主权项

1.一种驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，所述第一衬底基板朝向所述第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接，所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔。