[发明专利]驻极体麦克风及其制造方法、显示装置

说明书

本申请公开了一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置，属于薄膜技术领域。驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，第一衬底基板朝向第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且驻极体薄膜与第一衬底基板之间形成第一空腔；第二衬底基板朝向第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且背电极薄膜与开关晶体管中的栅极连接，驻极体薄膜与背电极薄膜之间形成第二空腔。本申请解决了相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置的问题，且提供了一种能够适用于轻薄型显示装置的驻极体麦克风，本申请用于驻极体麦克风。

技术领域

本申请涉及薄膜技术领域，特别涉及一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置。

背景技术

驻极体麦克风是一种常用在显示装置中的麦克风，驻极体麦克风能够将声波转换为电信号，驻极体麦克风通常包括：金属外壳，以及在金属外壳内依次排布的金属垫、驻极体结构、塑料支架、金属背电极和场效应晶体管。

其中，驻极体分别与金属背电极和金属外壳之间形成空腔，金属背电极与场效应晶体管的栅极连接，场效应晶体管的源极和漏极的引脚均伸出金属外壳之外。需要说明的是，驻极体能够在电场的作用下聚集电荷，且在电场消失时，驻极体上的电荷不会消失。当声波传入驻极体麦克风内时，驻极体会在声波的作用下发生振动，且在其振动过程中驻极体上的电荷会在金属背电极上产生相应的感应电荷，从而使场效应晶体管的栅极在感应电荷的作用下形成相应的电压，使场效应晶体管的源极和漏极导通或关断。因此，根据场效应晶体管的源极和漏极的导通状况，就可以生成与声波相关的电信号。

但是，相关技术驻极体麦克风由多种结构组装而成，使得驻极体麦克风的体积较大，因此相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置。

发明内容

本申请提供了一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置，可以解决相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置的问题，所述技术方案如下：

一方面，提供了一种驻极体麦克风，所述驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，

所述第一衬底基板朝向所述第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；

所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接，所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔。

可选的，所述第一支撑薄膜呈环形，

所述第一支撑薄膜所包围的开口区域在所述第一衬底基板上的正投影位于所述背电极薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内，且与所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影存在重叠。

可选的，所述驻极体薄膜呈条状，且在所述驻极体薄膜的宽度方向上，所述驻极体薄膜的宽度小于所述开口区域的宽度。

可选的，所述第二支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影位于所述第一支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内。

可选的，所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影与所述开关晶体管在所述第一衬底基板上的正投影不重叠。

可选的，所述第一支撑薄膜的材质为金属。

可选的，所述第一衬底基板和所述第二衬底基板均为柔性基板。

可选的，所述驻极体麦克风在垂直于所述第一衬底基板的方向上的厚度小于10微米。

可选的，所述开关晶体管为场效应晶体管，所述场效应晶体管包括：与所述背电极薄膜同层设置的源极、漏极和栅极，以及设置在所述源极、所述漏极和所述栅极上的有源层。