[发明专利]用于制造测量流体压力的压力传感器装置的方法和压力传感器装置在审
| 申请号： | 201810875703.7 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN109387317A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | D·埃特;P·布雷乌辛;R·文克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种用于制造用于测量流体压力的压力传感器装置的方法，其中，方法包括以下步骤：提供压力单元，该压力单元具有用于接收要测量其压力的流体的压力通道和金属膜片、尤其是钢膜片，其中，金属膜片至少在一侧上限界压力通道；将玻璃元件引入到压力单元的凹口中，其中，凹口构造在金属膜片的背离压力通道的一侧上，而不使玻璃元件与金属膜片材料锁合地连接；将用于确定压力通道中的流体压力的应变测量设备和/或用于确定压力通道中的流体压力的半导体元件布置在玻璃元件上；和加热玻璃元件以使玻璃元件与金属膜片材料锁合地连接并且使应变测量设备和/或半导体元件与玻璃元件材料锁合地连接。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃元件 金属膜片 压力通道 压力传感器装置 材料锁合 压力单元 地连接 测量流体压力 应变测量设备 半导体元件 流体压力 凹口构造 加热玻璃 钢膜片 流体 制造 测量 背离 引入 | ||
【主权项】：
1.用于制造用于测量流体压力的压力传感器装置(10)的方法，其中，所述方法包括以下步骤：‑提供压力单元(12)，该压力单元具有用于接收要测量其压力的流体的压力通道(15)和金属膜片(20)、尤其是钢膜片，其中，所述金属膜片(20)至少在一侧上限界所述压力通道(15)；‑将玻璃元件(30)引入到所述压力单元(12)的凹口(25)中，其中，所述凹口(25)构造在所述金属膜片(20)的背离所述压力通道(15)的一侧上，而不使所述玻璃元件(30)与所述金属膜片(20)材料锁合地连接；‑将用于确定所述压力通道(15)中的流体压力的应变测量设备和/或用于确定所述压力通道(15)中的流体压力的半导体元件(40)布置在所述玻璃元件(30)上；和‑加热所述玻璃元件(30)以使所述玻璃元件(30)与所述金属膜片(20)材料锁合地连接并且使所述应变测量设备和/或所述半导体元件(40)与所述玻璃元件(30)材料锁合地连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810875703.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：波纹管压力检测及高压回弹补偿装置
- 下一篇：高压压气机进气管绝对压力传感器
