[发明专利]一种抑制激光散斑的方法及MEMS微振镜在审
| 申请号： | 201810870484.3 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN108873368A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 惠凯;宋秀敏;夏长锋;乔大勇 | 申请（专利权）人： | 西安知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G02B26/08;G02B26/06 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于微光机电(MOEMS)领域和激光投影显示领域，具体涉及一种抑制激光散斑的方法及MEMS微振镜，通过对传统的MEMS微振镜结构进行优化设计使得MEMS微振镜可在绕扭转轴扭转的同时实现辅助运动(垂直于镜面方向的微小平动或绕y轴扭转的微小运动)，在实现对入射光束偏转的同时降低其光束相干性，从而在满足光学系统工作要求的情况下实现对激光散斑的抑制功能。 | ||
| 搜索关键词： | 微振 激光散斑 激光投影显示 入射光束偏转 辅助运动 工作要求 光学系统 镜面方向 微光机电 微小运动 优化设计 扭转 传统的 镜结构 扭转轴 相干性 平动 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种抑制激光散斑的方法，其特征在于：控制MEMS微振镜反射镜面绕x轴进行往复扭转的同时还控制MEMS微振镜反射镜面沿反射镜面法线方向即Z轴平动；定义：MEMS微振镜反射镜面位于初始位置时，反射镜面所在平面为xy平面，x轴为xy平面内与MEMS微振镜水平梁平行且过反射镜面中心的轴线，y轴为xy面内与x轴垂直且过反射镜面中心的轴线。
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