[发明专利]一种抑制激光散斑的方法及MEMS微振镜

权利要求书

1.一种抑制激光散斑的方法，其特征在于：控制MEMS微振镜反射镜面绕x轴进行往复扭转的同时还控制MEMS微振镜反射镜面沿反射镜面法线方向即Z轴平动；定义：MEMS微振镜反射镜面位于初始位置时，反射镜面所在平面为xy平面，x轴为xy平面内与MEMS微振镜水平梁平行且过反射镜面中心的轴线，y轴为xy面内与x轴垂直且过反射镜面中心的轴线。

2.根据权利要求1所述的抑制激光散斑的方法，其特征在于：反射镜面沿反射镜面法线方向平动的范围其中pix为在光线接收屏幕上投影显示的像素在水平方向的宽度，θ为入射光束与反射镜面法线的夹角。

3.一种抑制激光散斑的方法，其特征在于：控制MEMS微振镜反射镜面绕x轴进行往复扭转的同时还控制MEMS微振镜反射镜面绕y轴扭转；

定义：MEMS微振镜反射镜面位于初始位置时，反射镜面所在平面为xy平面，x轴为xy平面内与MEMS微振镜水平梁平行且过反射镜面中心的轴线，y轴为xy面内与x轴垂直且过反射镜面中心的轴线。

4.根据权利要求3所述的抑制激光散斑的方法，其特征在于：反射镜面绕y轴扭转的角度其中θ₁为线激光光源的半张开角，l为投影工作要求在光线接收屏幕x方向的显示宽度，h为激光光源在反射镜面中的像点位置到光线接收屏幕的垂直距离。

5.一种抑制激光散斑的MEMS微振镜，包括MEMS微振镜可动结构，所述MEMS微振镜可动结构包括反射镜面、水平梁及竖直梁；其特征在于：

还包括驱动机构；

定义：MEMS微振镜反射镜面位于初始位置时，反射镜面所在平面为xy平面，x轴为xy平面内与MEMS微振镜水平梁平行且过反射镜面中心的轴线，y轴为xy面内与x轴垂直且过反射镜面中心的轴线；

所述驱动机构驱动反射镜面绕x轴进行往复扭转的同时还驱动反射镜面沿反射镜面法线方向平动。

6.根据权利要求5所述的抑制激光散斑的MEMS微振镜，其特征在于：反射镜面沿反射镜面法线方向平动范围其中pix为在光线接收屏幕上投影显示的像素在水平方向的宽度，θ为入射光束与反射镜面法线的夹角。

7.根据权利要求6所述的抑制激光散斑的MEMS微振镜，其特征在于：所述驱动机构包括驱动线圈、永磁铁及信号输入电路；

所述驱动线圈包括第一驱动线圈、第二驱动线圈及第三驱动线圈；所述第一驱动线圈设置于反射镜面中心正下方，第一驱动线圈的中心轴与反射镜面法线平行；所述第二驱动线圈与第三驱动线圈设置于反射镜面下方且关于第一驱动线圈对称布置，第二驱动线圈与第三驱动线圈的中心轴与反射镜面法线平行，第二驱动线圈与第三驱动线圈相互串联且螺旋方向相反；

所述永磁铁设置于反射镜面背面；

所述信号输入电路包括第一信号输入电路与第二信号输入电路；第一路信号输入电路的信号输出至第一驱动线圈，第二路信号输入端电路的信号输出至第二驱动线圈或第三驱动线圈。

8.一种抑制激光散斑的MEMS微振镜，包括MEMS微振镜可动结构，所述MEMS微振镜可动结构包括反射镜面、水平梁及竖直梁，其特征在于：

还包括驱动机构；

定义：MEMS微振镜反射镜面位于初始位置时，反射镜面所在平面为xy平面，x轴为xy平面内与MEMS微振镜水平梁平行且过反射镜面中心的轴线，y轴为xy面内与x轴垂直且过反射镜面中心的轴线；

所述驱动机构驱动反射镜面绕x轴进行往复扭转的同时驱动反射镜面绕y轴扭转。

9.根据权利要求8所述的抑制激光散斑的MEMS微振镜，其特征在于：反射镜面绕y轴扭转的角度其中θ₁为线激光光源的半张开角，l为投影工作要求在光线接收屏幕x方向的显示宽度，h为线激光光源在反射镜面中的像点位置到光线接收屏幕的垂直距离。

10.根据权利要求9所述的抑制激光散斑的MEMS微振镜，其特征在于：所述驱动机构包括驱动线圈、永磁铁及信号输入电路；

所述驱动线圈包括第四驱动线圈、第五驱动线圈、第六驱动线圈及第七驱动线圈；第四驱动线圈与第五驱动线圈相互串联且螺旋方向相反，第六驱动线圈及第七驱动线圈相互串联且螺旋方向相反；

第四驱动线圈、第五驱动线圈、第六驱动线圈及第七驱动线圈均位于反射镜面的下方且第四驱动线圈、第五驱动线圈、第六驱动线圈及第七驱动线圈中心轴与反射镜面的法线相互平行；

在同一平面内，第四驱动线圈与第五驱动线圈之间的连线垂直于第六驱动线圈与第七驱动线圈之间的连线，且两条连线的交点在反射镜面的法线上；

所述永磁铁设置于反射镜面背面；

所述信号输入电路包括第一信号输入电路与第二信号输入电路；第一路信号输入电路的信号输出至第四驱动线圈或第五驱动线圈；第二路信号输入电路的信号输出至第六驱动线圈或第七驱动线圈。